岱美仪器技术服务(上海)有限公司

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蔡司电子显微镜隔振台有哪些应用

时间:2023年08月06日 来源:岱美仪器技术服务(上海)有限公司

TS特点:◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。蔡司电子显微镜隔振台有哪些应用

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5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。干涉仪隔振台LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。

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AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要取向!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确,请按照下列步骤操作:面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振从0.7Hz到100Hz在21世纪纳米技术(即先进的半导体带表相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产),振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑制因素。在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS系列”将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。装载设备:扫描电子显微镜,如AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,医疗检测设备等。LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。

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我们是岱美仪器。岱美拿到采购HERZAN公司隔振台的订单,客户是某杰出电脑硬盘盘基片制造商,此高性能的防震台有助于FIB公司推出的Nova600获得更好的分辨率。订单于2008年九月完成。此高性能的防震台由世界杰出的防震专业厂家HEZAN公司提供。AVI系列的防震台设计于结构紧凑,模块化的系统。它是理想的可以加装或整合到一个你已有的仪器设备系统以获得更好性能,它还可以提供在一定大小的范围内和增加额外的模块用来支持你想得到即使是蕞大的负荷。主动隔振范围从1Hz到200Hz,被动隔振超过200Hz,广泛应用于光刻类仪器、光谱分析类仪器、高精密测量系统、超高真空扫描探针显微和电镜及透射电子显微镜等系统。AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式。光学隔震平台隔振台轮廓测量应用

使用D-Sub 15M-F电缆将T-Box连接到TS的背面。无需单独的电源。通过模式开关可以来选择不同的激励方向。蔡司电子显微镜隔振台有哪些应用

LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定,并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336(电磁兼容性)每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器。蔡司电子显微镜隔振台有哪些应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于2002-02-07,位于金高路2216弄35号6幢306-308室,公司自成立以来通过规范化运营和高质量服务,赢得了客户及社会的一致认可和好评。公司主要产品有半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,公司工程技术人员、行政管理人员、产品制造及售后服务人员均有多年行业经验。并与上下游企业保持密切的合作关系。依托成熟的产品资源和渠道资源,向全国生产、销售半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪产品,经过多年的沉淀和发展已经形成了科学的管理制度、丰富的产品类型。岱美仪器技术服务(上海)有限公司以先进工艺为基础、以产品质量为根本、以技术创新为动力,开发并推出多项具有竞争力的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪产品,确保了在半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪市场的优势。

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