芯片图形激光规格

时间:2023年06月12日 来源:

半导体业的铜引线封装越来越成为发展主流,传统的化学开封已无法完全满足铜引线封装的开封要求。激光开封机的诞生给分析领域带来了新的技术。

激光开封机特点:

1、对铜引线封装有很好的开封效果

2、对复杂样品的开封极为方便

3、可重复性、一致性极高

、电脑控制开封形状、位置、大小、时间等,操作便利

5、对环境及人体污染伤害较小,安全性高

6、几乎没有耗材,使用成本很低

7、体积较小,容易摆放

激光开封机是怎么操作的?开封,开盖,开帽,指给完整封装的IC做局部腐蚀,使得IC可以暴露出来,同时保持芯片功能的完整无损,保持 die,bond pads,bond wires乃至lead-frame不受损伤,为下一步芯片失效分析实验做准备,方便观察或做其他测试(如FIB,EMMI), Decap后功能正常。 掩模版激光都有哪些种类?芯片图形激光规格

常见、有代表性的激光应用之激光热处理:也称激光淬火,是一种表面改性工艺,用于增强部件的耐磨性或延长其寿命,从家用工具到汽车制造部件及重工业和运输领域的工装,均在适用范围内,尤其汽车工业中应用普遍,如缸套、曲轴、活塞环、换向器、齿轮等零部件的热处理,同时在航空航天、机床行业和其它机械行业也应用范围广。激光淬火常用于钢和铸铁材料。激光器通过受控的局部加热使金属部件上的目标区域发生固态相变,同时保证基材的冶金性能。吸收取决于材料类型、碳含量、微结构、表面条件、尺寸和几何形状,通常限于在表面层,淬火深度0.2–2.0 mm。可采用光束整形器件控制加热区域。Mask激光去层光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。

激光工艺:

经过近20年的发展,目前比较成熟的工艺分为六种:Decap EMC 激光开封环氧树脂塑模封装Gel Removal 激光去除硅胶封装Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光开盖金属陶瓷封装Eco-Blue 激光光化学法无损晶圆开封De-layering 激光逐层剥离微加工。

激光开封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封层的工艺。可替代传统的微型CNC机械磨除方法,结合GEL-BLUE工艺,可代替开封的后续滴酸工艺。

激光去除硅胶封装,是利用远红外激光器,汽化silicagel,结合GEL-BLUE溶液,完美除胶直达晶圆层。目前应用的IC主要类型有LED、IGBT、以及高压功率芯片。


常见、有代表性的激光应用之激光冷却:利用激光和原子的相互作用减速原子运动以获得低温原子的高新技术。这一重要技术早期主要目的是为了精确测量各种原子参数,用于高分辨率激光光谱和超高精度的量子频标(原子钟),后来成为实现原子玻色-爱因斯坦凝聚的关键实验方法。激光冷却有许多应用,如:原子光学、原子刻蚀、原子钟、光学晶格、光镊子、玻色-爱因斯坦凝聚、原子激光、高分辨率光谱及光和物质的相互作用的基础研究等。

1997年诺贝尔物理学奖被授予朱棣文、克劳德·科恩·塔努吉和威廉·D·菲利普斯,以表彰他们利用激光冷却和捕获原子的方法。 光刻掩模版的加工技术;

光刻掩膜版质量的优劣直接影响光刻的质量。在芯片制造过程中需要经过十几甚至几十次的光刻,每次光刻都需要一块光刻掩膜版,每块光刻掩膜版的质量都会影响光刻的质量。光刻过程中,通常通过一系列光学系统,将掩膜版上的图形按照 4:1 的比例投影在晶圆上的光刻胶涂层上。由于在制作过程中存在一定的设备或工艺局限,光掩膜上的图形并不可能与设计图像完全一致,即在后续的硅片制造过程中,掩膜板上的制造缺陷和误差也会伴随着光刻工艺被引入到芯片制造中。因此光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。


激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。光掩膜版激光升级

激光开封机的使用环境;芯片图形激光规格

激光机常见故障以及解决方法:六、电脑不能输出1、检查软件参数设置是否正常(重新设置);2、雕刻机是否先按定位起动再输出(重新输出);3、检查机器是否事先没复位(重新更正);4、检查输出串口是否与软件设置串口一致(重新设置);5、检查地线是否可靠,静电是否干扰数据线(重新接地);6、更换电脑串口输出测试;7、重新安装软件并重新设置测试;8、格式化电脑系统盘重新安装软件测试;9、主板串口损坏需维修或更换。七、电脑常见问题1、字体逐渐减少(重新安装操作系统);2、数据量太大不能计算激光路径(等待一段时间或加大电脑内存);3、计算路径长时间没响应,重新启动电脑测试芯片图形激光规格

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