柔性Oled激光修复

微纳加工-激光掩模版的作用：

光刻掩模版，别称“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”，一般使用玻璃或者石英表面覆盖带有图案的金属图形，实现对光线的遮挡或透过功能，是微电子光刻工艺中的一个工具或者板材。我们利用光罩可以实现微电子工艺中的图形传递。光刻掩模版的加工技术主要有两种：其一为激光直写技术；其二为电子束直写部分，两种技术区别在于光源不同，实现的精度有所区别。掩模版是光刻工艺不可缺少的部件。掩模上承载有设计图形，光线透过它，把设计图形透射在光刻胶上，掩膜版的功能类似于传统照相机的“底片”。我们可以通过把图形做在掩模版上通过下一步曝光工艺（下期讲解）转移到我们的基底上，基底上有对应的相关图形了，但是通过曝光基底上还没有刻上图形，只是光刻胶有了相关图形。光刻胶的是一种对光敏感的材料，通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化。有可能会变容易溶解也可能变得不容易，这时候再通过显影液，不稳定的部分将会被处理掉，剩下的就是我们想要的图形。 激光应用之激光传感器；柔性Oled激光修复

RY20激光修复机：

广泛应用：超快激光针对半导体的精细微加工

★芯片去层及图形线路切割lasercut

★Mask掩膜版的开路断线熔接laserwelding（LCVD）

★针对Oled、Mini/Microled面板修复LaserRepair

系统设备参数：

1、电气参数

●电源：220V/AV，大10A

●激光器电源：48V/DC，比较大8A。

2、机械参数

●Z轴行程：20mm

●Z轴小移动精度：1um

●整机重量：150Kg。

3、激光光学参数

●物镜：5X、10X，20XNUV

●激光输出波长：355nmMAX6mj、532nmMAX8mj、1064nmMAX20mj

●光斑调节范围：0.01*0.01~4*4mm(物镜前)

●**小切割线宽：355nm1um;532nm1.2um;1064nm1.5um 上海激光报价激光微加工系统的主要功能；

半导体激光器失效机理与案例分析：

半导体激光器失效模式主要表现为工作期间无输出光强，或在恒定驱动电流下输出光功率退化失效，当输出功率退化至特定阈值，就会导致激光器失效。可靠性研究分析中心是国内专业从事电子元器件和各种电子产品失效分析技术研究和技术服务的机构。在对半导体激光器开展的失效分析工作中，经总结，半导体激光器的主要失效机理包括电极退化、欧姆接触、腔面退化、环境污染等因素。

失效机理介绍及相关案例如下文所示。

1）电极退化电极退化通常发生在金属与半导体材料的交界面，由于焊料材料扩散进半导体内部形成缺陷结构，大电流作用下导致缺陷位置热量积累，**终烧毁附近的金属化层[2]。

常见、有代表性的激光应用之激光成型：将激光加工技术和计算机数控技术及柔性制造技术相结合而形成，多用于模具和模型行业。

常见、有代表性的激光应用之激光涂敷：在航空航天、模具及机电行业应用范围广。

常见、有代表性的激光应用之激光成像：通常是利用激光束扫描物体，将反射光束反射回来，得到的排布顺序不同，用图像落差来反映所成的像。激光成像具有超视距的探测能力，可用于水下成像、卫星激光扫描成像，遥感测绘等科技领域。

激光开封机的使用环境；

常见、有代表性的激光应用之激光传感器：laser transducer，利用激光技术进行测量的传感器。它由激光器、激光检测器和测量电路组成。激光传感器是新型测量仪表，它的优点是能实现无接触远距离测量，速度快，精度高，量程大，抗光、电干扰能力强等。激光是标准的尺。

常见、有代表性的激光应用之激光测云仪：利用激光在大气层中的衰减来判断云层。当激光在大气层中穿越时，由于发射的能量与接收的能量之间有能量差，利用能量的衰减度与云层的水分子的含量多少来判断云层结构和距离的仪器。 超快激光脉冲微加工的明显特征是透明材料的内部微加工。MLED激光调阻

激光应用之激光切割；柔性Oled激光修复

常见、有代表性的激光应用之激光雷达：激光雷达用激光器作为辐射源，是激光技术与雷达技术相结合的产物 。由发射机 、天线 、接收机 、跟踪架及信息处理等部分组成。发射机是各种形式的激光器，如二氧化碳激光器、掺钕钇铝石榴石激光器、半导体激光器及波长可调谐的固体激光器等；天线是光学望远镜；接收机采用各种形式的光电探测器，如光电倍增管、半导体光电二极管、雪崩光电二极管、红外和可见光多元探测器件等。激光雷达采用脉冲或连续波2种工作方式，探测方法分直接探测与外差探测。 柔性Oled激光修复

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