光电流测试探针台技术改造

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备。光电流测试探针台技术改造

双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer，LED、LCD、太阳能电。产品优势：可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动，省时，省力，省心双光路系统，上光路可升级加载光电流系统。芯片内部线路/pad/电级的IV/CV测试l材料/器件的IV/CV性能测试及FAl芯片/面板内部线路修改/去层（介质绝缘层/钝化层l可对金属线路层激光断线或开路进行熔接l激光可选择性去除特定材料而不损伤下层或基底l激光**小加工精度1*1μml芯片研发流片验证+失效分析**l激光打标LaserMarklLasercut、Laserweld、Laserrepaill超快短脉冲激光精细微加工修复系统重庆MOS管探针台探针台的探针的清洗。

经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以除掉，降低器材的制作本钱。半导体的测验环节，首要包含芯片规划中的规划验证、晶圆制作中的晶圆测脸(CP测验)和封装完结后的成品测验(FT测验》。半导体测验设备首要包含测机、探针台和分选机。在一切的测验环节中都会用到测验机，不同环节中测验机需要和分选机或探针台配合使用探针台是检测芯片的重要设备，在芯片的规划验证阶段，首要作业是检测芯片规划的功能是否可以达到芯片的技术指标，在检测过程中会对芯片样品逐个查看，只要通过规划验证的产品型号才会量产。晶圆测验一般在晶圆厂、封测厂或专门的测脸代工厂进行，首要用到的设备为测验机和探针台。

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器，主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围：手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。各钟规格国产射频探针。

到手动探针台，它的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。它是陈本比较高的仪器，不光是要在使用时好好维护，不用时也需要好好保存。怎样保存呢？1、仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。2、避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。3、停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护手动探针台寿命。4、手动探针台应放在稳定可靠的台面上，比如具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。5、使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精是易燃物，使用是要注意。卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离。重庆MOS管探针台

全自动探针台相比普通探针台添加了晶圆材料处理搬运单元（MHU）和模式识别（自动对准）。光电流测试探针台技术改造

H系列探针台是一款配置综合型手动测试探针台,该系列探针台设备配置丰富，基本可以满足一般实验室的全部测试要求。其样品台可以360度快速移动，便于快速定位样品位置，提高测试效率。并且具备三段式针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。此设备一般适用于大型实验室或者半导体工厂。产品优势：卡盘可360度快速移动，便于快速定位样品位置，提高测试效率大手柄微分头驱动，省时，省力，省心三段式可升降探针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离光电流测试探针台技术改造

上海波铭科学仪器有限公司成立于2013-06-03，同时启动了以爱特蒙特为主的拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器产业布局。业务涵盖了拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等诸多领域，尤其拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器中具有强劲优势，完成了一大批具特色和时代特征的仪器仪表项目；同时在设计原创、科技创新、标准规范等方面推动行业发展。随着我们的业务不断扩展，从拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器等到众多其他领域，已经逐步成长为一个独特，且具有活力与创新的企业。值得一提的是，波铭科仪致力于为用户带去更为定向、专业的仪器仪表一体化解决方案，在有效降低用户成本的同时，更能凭借科学的技术让用户极大限度地挖掘爱特蒙特的应用潜能。