激光扫描MEMS扫描镜有哪些

一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。一维MEMS 扫描镜：一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。激光扫描MEMS扫描镜有哪些

MEMS具有体积小、扫描速度快、成本低的特点，可以进行双轴扫描，成为此类激光雷达系统的重要组成部分。MEMS镜前正透镜焦距设定为100mm，距MEMS微镜23.5 mm;根据建议，MEMS的机械倾斜角设置为±°4左右，即MEMS本身的光偏斜角=±°8 1(因为光学偏斜角是机械倾斜角的两倍)。所用MEMS的参数参考Mirrorcle Technologies Inc.的产品。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。家用MEMS扫描微镜任何MEMS芯片的量产从来都不是简单的事。

MEMS扫描微镜的分类：按照扫描维度不同，可以分为一维扫描镜和二维扫描镜，一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转，二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描，可以选用两个一维的扫描镜，也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大，但是结构也更复杂，控制的难度也就越大。按照驱动方式的不同，可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。

静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度较大可达到32，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。针对对点对点（受迫振动）光束扫描进行了特殊设计及优化。该采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成，因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系，并且有着较佳的可重复性，而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜，致动器在每个轴上至少有14Bits（约16384个位置），因此当机械偏转角度为-5到+5是，角度的分辨率可达到10微弧度。在整片的单晶硅上采用拥有技术的无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm。微镜是指采用光学MEMS技术制造的。

MEMS 扫描镜的应用是比较多的，光学扫描镜是一种矢量扫描设备，能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射，从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高，且多为散装，限制了其应用。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点，以被普遍的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜，一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转，二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描，可以选用两个一维的扫描镜，也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大，但是结构也更复杂，控制的难度也就越大。一维MEMS扫描镜的特征：采用 MEMS 静电驱动原理，体积小。光通讯MEMS扫描微镜供应商

一维MEMS扫描镜是采用半导体硅工艺制造的。激光扫描MEMS扫描镜有哪些

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