静电驱动MEMS器件研发

MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动，这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步，它无需使用电机，且限制了 会引起摩擦的机械部件。从理论上讲，降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。分辨率的提高主要来自调整反射镜和激光发射器的尺寸。通过提高分辨率，开发者旨在提高对象检测和识别的可靠性。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。MEMS扫描镜被普遍的应用在光通信、扫描成像、激光雷达。静电驱动MEMS器件研发

MEMS扫描微镜也叫振镜，微镜沿着x、y两个方向扫描，可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片，扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的。现在大家普遍觉得MEMS方案比较靠谱，能够很快落地。与机械式相比，MEMS的优势很多，如安装简单、体积更小、价格便宜。MEMS器件的工艺制程并不高，只是微米级。整体来说，国内现在MEMS代工企业还属于起步阶段，目前比较成熟的产品有麦克风和压力传感器等。MEMS代工的特点是“一种器件、一套工艺”，所以MEMS微镜对于代工厂来说是比较新的产品，工艺的导入和量产中都需要解决很多新的问题，要跟MEMS代工厂合作，要慢慢地去“培养”MEMS代工厂，和代工厂一起成长。医疗MEMS扫描微镜提供商一维MEMS扫描镜是低功耗静电驱动,以高速谱振模式，实现大的光学扫描角度和高扫描频率。

我们知道MEMS器件开发除了好的设计方案外，较关键的还是加工制造环节，成熟的工艺及其优良平台不只决定了产品的可靠性、一致性的品质要素，而且对成本乃至投放周期有至关重要的影响。为了使产品早日量产抢占市场，要注意采用的工艺。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm /直径1.4mm）采用半导体硅技术制造， 低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现 二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸； 镜面以铝为标准涂层材料，为可见光波长光束提供高反射率。 金还可以在大规模制造材料中用作镜子，以在其他波段中实现高反射率。

一维MEMS扫描镜的注意事项 ：一维MEMS扫描镜要到正规的厂家进行购买， 微视传感基于MEMS微镜 3D视觉解决方案正助力机器视觉产业的蓬勃发展，其方案普遍应用于3D建模、智能安防、智能机器人、AGV、无人驾驶、汽车HUD等新兴行业。一维 MEMS 扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维空间的精确扫描；用户可根据实际应用的光学系统需求，选择合适的反射镜面尺寸及性能参数；镜面表面以金或铝为标准镀膜材料，为不同工作波长光束提供高反射率；若采用两颗一维 MEMS 扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描，可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。一维MEMS扫描镜可为红外波长光束提供高反射率。

MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上，因此可以满足信息激光应用的要求。：MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看，发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度，对MEMS三维激光雷达应用；MEMS扫描镜的直径数毫米，水平光学扫描角度高达110°，垂直光学扫描角度25~40°，谐振频率高达数十kHz。一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转。通讯MEMS扫描镜有哪些

MEMS扫描镜的尺寸很小。静电驱动MEMS器件研发

MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、**、通讯等。这其中有已经量产的应用，还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。静电驱动MEMS器件研发

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