2DMEMS扫描微镜供货商

时间:2021年06月26日 来源:

一维MEMS扫描镜描述 :一维 MEMS 扫描镜设计上采用高速共振模式,以达到大光学扫描角的性能,可实现光束。一维空间的精确扫描;用户可根据实际应用的光学系统需求,选择合适的反射镜面尺寸及性能参数;镜面表面以金或铝为标准镀膜材料,为不同工作波长光束提供高反射率;若采用两颗一维 MEMS 扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描,可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率MEMS扫描微镜的注意事项有哪些?2DMEMS扫描微镜供货商

MEMS扫描镜全部由单晶硅制成,也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件,例如,金属、聚合物、压电材料等。使其拥有优良的重复性和可靠性。采用无万向节设计,使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°,在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜,可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。广州国产化MEMS器件MEMS扫描镜全部由单晶硅制成,也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件。

MEMS扫描镜的尺寸很小,其反射镜面直径通常为数毫米,镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜,可以承受的激光功率可达到瓦级以上,因此可以满足信息激光应用的要求。:MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看,发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度,对MEMS三维激光雷达应用;MEMS扫描镜的直径数毫米,水平光学扫描角度高达110°,垂直光学扫描角度25~40°,谐振频率高达数十kHz。

MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米,镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜,可以承受的激光功率可达到瓦级以上,因此可以满足信息激光应用的要求。:MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看,发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度,对MEMS三维激光雷达应用;MEMS扫描镜的直径数毫米,水平光学扫描角度高达110°,垂直光学扫描角度25~40°,谐振频率高达数十kHz。MEMS扫描镜的尺寸很小。

MEMS扫描镜的注意事项:根据扫描镜运动方式,MEMS扫描镜可以分为谐振式和准静态式两种。谐振式MEMS扫描镜工作在机械谐振状态,其扫描角度大、驱动功耗低、扫描电压低,图像化激光扫描、激光成像是其主要的应用市场。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态,扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停,主要应用于激光指向、激光矢量化图形扫描,其扫描角度范围相对较小。在同一MEMS扫描镜中,其二维扫描也可以分别工作于谐振和非谐振两种状态。一维 MEMS扫描镜的应用:编码结构光投影器。南京MEMS扫描镜哪家好

MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动。2DMEMS扫描微镜供货商

MEMS扫描镜的应用是比较普遍的,扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点,微镜是指采用光学MEMS技术制造的,把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜,当其光学偏转角度较大(达到10°以上),主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时,可被称为“MEMS扫描镜”,以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜在激光投影、激光成像、激光加工、激光传感等应用具有普遍的需求,是激光应用必不可少的关键激光元器件,较近成为关注的热点。2DMEMS扫描微镜供货商

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