电子MEMS器件行业

MEMS扫描微镜相关知识：MEMS微镜按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动。其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。比如德州仪器的DLP中的MEMS微镜阵列采用的是静电驱动模式，且在投影领域一家独大；而博世较新推出的全新交互式激光投影微型扫描仪BML050中的MEMS微镜、滨松今年发布的MEMS微镜S12237-03P、MEMS微镜，均采用电磁驱动原理。MEMS微镜采用电热驱动原理。而压电驱动的产品还未看到大规模量产的企业。MEMS扫描镜可以满足信息激光应用的要求。电子MEMS器件行业

MEMS微镜已成为激光雷达主流，少数公司只使用摄像头，有些场景（如纯白或纯色）场景可能难以识别，而激光雷达可以很快计算出距离、速度等各种信息，实现对环境的高分辨率识别。以往的机械式激光雷达光学和电学系统非常复杂，只有一些公司还在使用，无法大规模量产。较新技术是采用MEMS扫描微镜的激光雷达，国内一些已经在使用国产MEMS微镜芯片开始定点项目量产。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。南京MEMS扫描镜有哪些一维 MEMS扫描镜的应用：室内激光雷达（LiDAR）。

MEMS扫描镜组件中有一个反射镜悬浮在常平架(Gimbal Frame)内，常平架上有一个微加工的通电线圈。MEMS裸片周围安装有永磁体，用于提供磁场。只要给MEMS线圈施加一个电流，就能在常平架上产生一个磁力扭矩，并沿旋转轴的两个方向产生分量这种设计的一个关键特性是只有一个驱动信号输入到MEMS。为了产生双轴移动，垂直和水平移动的波形只需做简单的叠加。扭矩的一个分量使常平架绕其挠曲悬架旋转(左)；另一个分量则激发扫描镜谐振模式的振动，使反射镜绕常平架的挠曲悬架旋转(右)。这种复合的镜驱动波形由60Hz垂直扫描锯齿波函数和激发水平扫描谐振的高频正弦波叠加而成。

MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上，因此可以满足信息激光应用的要求。：MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看，发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度，对MEMS三维激光雷达应用；MEMS扫描镜的直径数毫米，水平光学扫描角度高达110°，垂直光学扫描角度25~40°，谐振频率高达数十kHz。二维MEMS扫描镜的快轴可达到几kHz共振模式。

MEMS扫描微镜在整片的单晶硅上采用拥有技术的无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点。数字显示MEMS扫描微镜哪里有

MEMS扫描微镜的使用要注意什么？电子MEMS器件行业

MEMS扫描微镜的静电驱动：所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术。通过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光路。虽然驱动力较其他原理的器件相比偏小，但工艺兼容性较好，可以使用体硅和表面硅机械加工工艺制作，便于实现集成。静电驱动技术按结构分，主要有平行板电容结构、抓刮结构（scratch drive actuator，SDA）和梳齿结构三大类。所谓的平板电容结构，就是在平板电容的两端施加电压，上级板可动，下极板固定。当外加驱动电压时，静电力使极板间距减小，造成静电力增大；静电力的增大进一步引起极板间距的减小，又使静电力进一步增大，这是一个正反馈过程。因此，通过对外加电压的控制实现镜面的扭转，但只有当驱动电压在一定范围内才是稳定的。电子MEMS器件行业

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