AGVMEMS扫描微镜供货商

MEMS二维扫描微镜性能指标国际前沿。MEMS二维扫描微镜利用微加工技术，批量制备高性能光学扫描微镜，可以实现对激光束和激光脉冲的精密扫描定位和操控。利用MEMS二维扫描微镜，以及半导体激光器的光强调制技术，可以实现全高清的微型激光投影仪，满足移动大屏显示的需求。利用MEMS二维扫描微镜结合红外激光器的调制，可以实现红外结构光的发射，满足3D相机对结构光投影的性价比的要求。利用大镜面的MEMS二维扫描微镜，可以实现固态激光雷达的小型化、低成本和可批量生产。按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜。AGVMEMS扫描微镜供货商

一维MEMS扫描镜的特征：纯硅制造工艺，大扫描角度、高角度分辨率，高扫描频率， 功耗低， 稳定性、重复性好，抗冲击、抗振动，采用 MEMS 静电驱动原理，体积小、质量轻，成本低。一维 MEMS扫描镜的应用：室内激光雷达（LiDAR），编码结构光投影器、生物医学检测、手势动作感测、其它。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率。江苏平动MEMS扫描镜随着使用时间的推移，MEMS扫描镜依然保持着极高的性能。

静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度较大可达到32，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。针对对点对点（受迫振动）光束扫描进行了特殊设计及优化。该采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成，因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系，并且有着较佳的可重复性，而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜，致动器在每个轴上至少有14Bits（约16384个位置），因此当机械偏转角度为-5到+5是，角度的分辨率可达到10微弧度。在整片的单晶硅上采用拥有技术的无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm。

MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有优良的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件。

MEMS扫描微镜也叫振镜，微镜沿着x、y两个方向扫描，可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片，扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的。现在大家普遍觉得MEMS方案比较靠谱，能够很快落地。与机械式相比，MEMS的优势很多，如安装简单、体积更小、价格便宜。MEMS器件的工艺制程并不高，只是微米级。整体来说，国内现在MEMS代工企业还属于起步阶段，目前比较成熟的产品有麦克风和压力传感器等。MEMS代工的特点是“一种器件、一套工艺”，所以MEMS微镜对于代工厂来说是比较新的产品，工艺的导入和量产中都需要解决很多新的问题，要跟MEMS代工厂合作，要慢慢地去“培养”MEMS代工厂，和代工厂一起成长。一维MEMS扫描镜的特征：抗冲击、抗振动。上海一维MEMS器件生产厂家

一维 MEMS扫描镜的应用：室内激光雷达（LiDAR）。AGVMEMS扫描微镜供货商

MEMS扫描镜的注意事项：根据扫描镜运动方式，MEMS扫描镜可以分为谐振式和准静态式两种。谐振式MEMS扫描镜工作在机械谐振状态，其扫描角度大、驱动功耗低、扫描电压低，图像化激光扫描、激光成像是其主要的应用市场。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态，扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停，主要应用于激光指向、激光矢量化图形扫描，其扫描角度范围相对较小。在同一MEMS扫描镜中，其二维扫描也可以分别工作于谐振和非谐振两种状态。AGVMEMS扫描微镜供货商

无锡微视传感科技有限公司是一家公司聚焦MEMS芯片以及3D成像领域，为客户提供MEMS微 镜芯片、结构光投射模组、3D相机以及3D方案。MEMS扫描微镜系列化芯片、MEMS稳态微镜系列化光通讯芯片、MEMS红外测温芯片与模块以及纳米压印模板的公司，致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。公司自创立以来，投身于一维MEMS扫描微镜，二维MEMS扫描微镜，3D编码结构光投射模组，3D结构光深度相机，是电子元器件的主力军。无锡微视传感科技不断开拓创新，追求出色，以技术为先导，以产品为平台，以应用为重点，以服务为保证，不断为客户创造更高价值，提供更优服务。无锡微视传感科技始终关注自身，在风云变化的时代，对自身的建设毫不懈怠，高度的专注与执着使无锡微视传感科技在行业的从容而自信。