深圳AGVMEMS扫描微镜怎么样

时间:2021年07月12日 来源:

MEMS 扫描镜的应用是比较多的,光学扫描镜是一种矢量扫描设备,能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射,从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高,且多为散装,限制了其应用。相较于传统的扫描镜,MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点,以被普遍的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同,MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜,一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转,二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描,可以选用两个一维的扫描镜,也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大,但是结构也更复杂,控制的难度也就越大。MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动。深圳AGVMEMS扫描微镜怎么样

扫描镜是通过精确控制镜面的偏角来控制光束的偏转方向,扫描镜可用于光束的指向控制和扫描。昊量光电可提供的光束偏转产品包括以下产品:MEMS 扫描镜:由静电驱动,可提供镜面直径从0.8-7.5mm不等产品。一个产品可在点对点、一个轴谐振另外一个点对点控制,两个轴谐振三种不同模式下工作。二维MEMS扫描镜(直径3.0mm /直径1.4mm)采用半导体硅技术制造, 低功耗静电驱动,快轴可达到几kHz共振模式,慢轴可实现稳定旋转,并可以实现 二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。山东3DMEMS扫描微镜研发厂家一维MEMS扫描镜的特征:大扫描角度。

一维MEMS扫描镜的特征:纯硅制造工艺,大扫描角度、高角度分辨率,高扫描频率, 功耗低, 稳定性、重复性好,抗冲击、抗振动,采用 MEMS 静电驱动原理,体积小、质量轻,成本低。一维 MEMS扫描镜的应用:室内激光雷达(LiDAR),编码结构光投影器、生物医学检测、手势动作感测、其它。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率。

MEMS微镜已经很小,未来走向哪里?MEMS微镜现在已经很小了,未来还会怎么发展呢?沈文江认为,其发展方向主要是针对特定的应用市场开发特定的MEMS微镜。比如激光雷达用的MEMS微镜需要大镜面,镜面大了光学发射出去的脉冲就更聚焦,能打得更远,接收的脉冲信号就更强;再比如在激光扫描投影应用中,要求扫描频率更高,这样能够实现更高的投影分辨率。微镜的另一个很大的应用场景是光通信,包括光开关、光交换机等,现在大部分是从美国、加拿大进口的芯片,这应该是光通信领域国产替代的一个重要方向。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点。

MEMS二维扫描微镜性能指标国际前沿。MEMS二维扫描微镜利用微加工技术,批量制备高性能光学扫描微镜,可以实现对激光束和激光脉冲的精密扫描定位和操控。利用MEMS二维扫描微镜,以及半导体激光器的光强调制技术,可以实现全高清的微型激光投影仪,满足移动大屏显示的需求。利用MEMS二维扫描微镜结合红外激光器的调制,可以实现红外结构光的发射,满足3D相机对结构光投影的性价比的要求。利用大镜面的MEMS二维扫描微镜,可以实现固态激光雷达的小型化、低成本和可批量生产。按照扫描维度不同,MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜。汽车HUDMEMS扫描镜厂家价格

MEMS扫描镜所采用的驱动技术有哪些?深圳AGVMEMS扫描微镜怎么样

扫描微镜激光系统能够产生连续光束,而不会像LED前照灯那样,出现当单颗LED启动或关闭时出现的“跳跃”照明区域边界的情况。另一个非常重要的优势是这款系统能够根据需要重新调整光通量,提高光源的平均利用率,降低系统功耗。这项激光器技术或将为MEMS产品带来一块全新的市场。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率。深圳AGVMEMS扫描微镜怎么样

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