南通光通讯MEMS扫描微镜哪家好

时间:2021年07月13日 来源:

芯片封装形式:MEMS 芯片产品,其封装形式可以根据不同的使用需求进行定制化开发。我司可提供 1 种(CLCC 封装,如下图所示)标准封装形式供客户使用。一维MEMS扫描镜需要特殊的驱动控制模块,我司可提供与之匹配的专业驱动控制模块,可缩短客户对其开发周期。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。一维MEMS扫描镜的特征:纯硅制造工艺。南通光通讯MEMS扫描微镜哪家好

MEMS微镜已成为激光雷达主流,少数公司只使用摄像头,有些场景(如纯白或纯色)场景可能难以识别,而激光雷达可以很快计算出距离、速度等各种信息,实现对环境的高分辨率识别。以往的机械式激光雷达光学和电学系统非常复杂,只有一些公司还在使用,无法大规模量产。较新技术是采用MEMS扫描微镜的激光雷达,国内一些已经在使用国产MEMS微镜芯片开始定点项目量产。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。激光扫描MEMS扫描镜价钱扫描镜是把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。

为了实现全新的创新型汽车照明技术,这项激光新技术的工作原理:一款波长约450nm的蓝光激光二极管,将激光照射到快速运动的MEMS微镜上,这款直径在毫米范围的MEMS微镜由Bosch开发。这款微镜由硅制成,是一款具有机电控制功能的微型光学系统,它非常坚固,能够确保长期使用的耐久性。该MEMS微镜负责将激光反射至荧光体,荧光体中包含嵌入矩阵的转换和散射颗粒。进而产生的混合散射蓝光和转换光通过调制获得白色光。凭借协同整合的MEMS微镜倾斜运动和激光器功率控制,可以在荧光体上产生任何想要的模式光,然后像幻灯片一样投射在路面上。而投射光模式可以根据高性能驾驶辅助传感器获得的信息进行调制,如摄像头、激光雷达(LiDAR)、雷达等传感器会将相关行车信息融合发送至车辆ECU,经过计算获得自适应的智能光束。

MEMS扫描镜的尺寸很小,其反射镜面直径通常为数毫米,镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜,可以承受的激光功率可达到瓦级以上,因此可以满足信息激光应用的要求。:MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看,发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度,对MEMS三维激光雷达应用;MEMS扫描镜的直径数毫米,水平光学扫描角度高达110°,垂直光学扫描角度25~40°,谐振频率高达数十kHz。MEMS扫描镜可以满足信息激光应用的要求。

MEMS二维扫描微镜利用微加工技术,批量制备高性能光学扫描微镜,可以实现对激光束和激光脉冲的精密扫描定位和操控。利用MEMS二维扫描微镜,以及半导体激光器的光强调制技术,可以实现全高清的微型激光投影仪,满足移动大屏显示的需求。利用MEMS二维扫描微镜结合红外激光器的调制,可以实现红外结构光的发射,满足3D相机对结构光投影的性价比的要求。利用大镜面的MEMS二维扫描微镜,可以实现固态激光雷达的小型化、低成本和可批量生产,满足自动驾驶对激光雷达的要求。一维MEMS扫描镜的特征:高扫描频率。激光扫描MEMS扫描镜价钱

一维 MEMS扫描镜的应用:室内激光雷达(LiDAR)。南通光通讯MEMS扫描微镜哪家好

MEMS扫描微镜也叫振镜,微镜沿着x、y两个方向扫描,可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片,扫描频率可以达到40kHz,相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的。现在大家普遍觉得MEMS方案比较靠谱,能够很快落地。与机械式相比,MEMS的优势很多,如安装简单、体积更小、价格便宜。MEMS器件的工艺制程并不高,只是微米级。整体来说,国内现在MEMS代工企业还属于起步阶段,目前比较成熟的产品有麦克风和压力传感器等。MEMS代工的特点是“一种器件、一套工艺”,所以MEMS微镜对于代工厂来说是比较新的产品,工艺的导入和量产中都需要解决很多新的问题,要跟MEMS代工厂合作,要慢慢地去“培养”MEMS代工厂,和代工厂一起成长。南通光通讯MEMS扫描微镜哪家好

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