南京数字显示MEMS扫描微镜

按照驱动方式的不同，MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用普遍的驱动方式。一维MEMS扫描镜的特征：高角度分辨率。南京数字显示MEMS扫描微镜

MEMS扫描镜的尺寸很小，其反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上，因此可以满足信息激光应用的要求。：MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看，发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度，对MEMS三维激光雷达应用；MEMS扫描镜的直径数毫米，水平光学扫描角度高达110°，垂直光学扫描角度25~40°，谐振频率高达数十kHz。上海无人驾驶MEMS扫描微镜生产厂家一维MEMS扫描镜是低功耗静电驱动,以高速谱振模式，实现大的光学扫描角度和高扫描频率。

我们知道MEMS器件开发除了好的设计方案外，较关键的还是加工制造环节，成熟的工艺及其优良平台不只决定了产品的可靠性、一致性的品质要素，而且对成本乃至投放周期有至关重要的影响。为了使产品早日量产抢占市场，要注意采用的工艺。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm /直径1.4mm）采用半导体硅技术制造， 低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现 二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸； 镜面以铝为标准涂层材料，为可见光波长光束提供高反射率。 金还可以在大规模制造材料中用作镜子，以在其他波段中实现高反射率。

一维MEMS扫描镜的注意事项 ：一维MEMS扫描镜要到正规的厂家进行购买， 微视传感基于MEMS微镜 3D视觉解决方案正助力机器视觉产业的蓬勃发展，其方案普遍应用于3D建模、智能安防、智能机器人、AGV、无人驾驶、汽车HUD等新兴行业。一维 MEMS 扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维空间的精确扫描；用户可根据实际应用的光学系统需求，选择合适的反射镜面尺寸及性能参数；镜面表面以金或铝为标准镀膜材料，为不同工作波长光束提供高反射率；若采用两颗一维 MEMS 扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描，可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。

MEMS扫描镜组件中有一个反射镜悬浮在常平架(Gimbal Frame)内，常平架上有一个微加工的通电线圈。MEMS裸片周围安装有永磁体，用于提供磁场。只要给MEMS线圈施加一个电流，就能在常平架上产生一个磁力扭矩，并沿旋转轴的两个方向产生分量这种设计的一个关键特性是只有一个驱动信号输入到MEMS。为了产生双轴移动，垂直和水平移动的波形只需做简单的叠加。扭矩的一个分量使常平架绕其挠曲悬架旋转(左)；另一个分量则激发扫描镜谐振模式的振动，使反射镜绕常平架的挠曲悬架旋转(右)。这种复合的镜驱动波形由60Hz垂直扫描锯齿波函数和激发水平扫描谐振的高频正弦波叠加而成。目前可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。专业MEMS扫描微镜怎么样

随着使用时间的推移，MEMS扫描镜依然保持着极高的性能。南京数字显示MEMS扫描微镜

MEMS微镜已经很小，未来走向哪里？MEMS微镜现在已经很小了，未来还会怎么发展呢？沈文江认为，其发展方向主要是针对特定的应用市场开发特定的MEMS微镜。比如激光雷达用的MEMS微镜需要大镜面，镜面大了光学发射出去的脉冲就更聚焦，能打得更远，接收的脉冲信号就更强；再比如在激光扫描投影应用中，要求扫描频率更高，这样能够实现更高的投影分辨率。微镜的另一个很大的应用场景是光通信，包括光开关、光交换机等，现在大部分是从美国、加拿大进口的芯片，这应该是光通信领域国产替代的一个重要方向。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。南京数字显示MEMS扫描微镜

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