微型MEMS扫描微镜研发

MEMS扫描镜所采用的驱动技术有哪些？：MEMS扫描镜的驱动技术有四种，即静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动，其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。静电驱动MEMS扫描镜（如图7）采用单晶硅制造，工艺简单、成熟，芯片尺寸小，驱动功耗极低，封装也比较简单，属电压驱动型器件。静电驱动MEMS扫描镜由于器件工作于谐振状态，可以实现大角度的扫描，但驱动电压会比较高。由于电磁驱动的力密度大，电磁驱动MEMS扫描镜也获得普遍的应用，其扫描角度大，可以实现线性扫描。电磁驱动器件工艺涉及数十微米厚度的电磁线圈的制造，封装需要配置永磁铁，器件模块尺寸稍大些。该器件属电流驱动型器件，驱动电流达数十毫安，驱动功耗较高。器件既可工作于谐振状态，也可以工作于非谐振状态，当工作与谐振状态时，驱动功耗可以大幅度降低。一维MEMS扫描镜的特征：稳定性、重复性好。微型MEMS扫描微镜研发

扫描镜具有的特点是比较多的，扫描镜是通过精确控制镜面的偏角来控制光束的偏转方向，扫描镜可用于光束的指向控制和扫描。昊量光电可提供的光束偏转产品包括以下产品：MEMS扫描镜：由静电驱动，可提供镜面直径从0.8-7.5mm不等产品。一个产品可在点对点、一个轴谐振另外一个点对点控制，两个轴谐振三种不同模式下工作。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm/直径1.4mm）采用半导体硅技术制造，低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。医疗MEMS扫描镜厂家价格利用MEMS二维扫描微镜，以及半导体激光器的光强调制技术，可以实现全高清的微型激光投影仪。

MEMS微镜的使用是比较多的，MEMS微镜已成为激光雷达主流，少数公司只使用摄像头，有些场景（如纯白或纯色）场景可能难以识别，而激光雷达可以很快计算出距离、速度等各种信息，实现对环境的高分辨率识别。以往的机械式激光雷达光学和电学系统非常复杂，只有一些公司还在使用，无法大规模量产。较新技术是采用MEMS扫描微镜的激光雷达，国内一些已经在使用国产MEMS微镜芯片开始定点项目量产。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。

MEMS扫描镜的制作：MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有优良的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜的成本低。

MEMS 扫描镜的相关知识：在自动驾驶发展热潮中，激光雷达普遍被认为是实现自动/无人驾驶的主要赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上，通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量，因此激光束扫描是激光雷达系统设计的主要环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗，同时成本高昂。因此，采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是较有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。我司可以满足普遍的客户应用需求，极大地缩短客户的产品开发时间。一维MEMS扫描镜的特征：采用 MEMS 静电驱动原理，体积小。微型MEMS扫描微镜研发

一维MEMS扫描镜是采用 MEMS 静电驱动原理，体积小。微型MEMS扫描微镜研发

MEMS扫描镜的相关信息：在自动驾驶发展热潮中，激光雷达普遍被认为是实现自动/无人驾驶的主要赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上，通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量，因此激光束扫描是激光雷达系统设计的主要环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗，同时成本高昂。因此，采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是较有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。我司可以满足普遍的客户应用需求，极大地缩短客户的产品开发时间。微型MEMS扫描微镜研发

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