广东低成本MEMS扫描微镜定制

MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、**、通讯等。这其中有已经量产的应用，还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。MEMS微镜按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动。广东低成本MEMS扫描微镜定制

二维MEMS扫描镜相关知识：二维MEMS扫描镜的快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸；镜面以铝为标准涂层材料，为可见光波长光束提供高反射率。金还可以在大规模制造材料中用作镜子，以在其他波段中实现高反射率。一维MEMS扫描镜可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。徐州微型化MEMS扫描微镜供应相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小的特点。

MEMS扫描微镜的所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术。通过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光路。虽然驱动力较其他原理的器件相比偏小，但工艺兼容性较好，可以使用体硅和表面硅机械加工工艺制作，便于实现集成。静电驱动技术按结构分，主要有平行板电容结构、抓刮结构（scratchdriveactuator，SDA）和梳齿结构三大类。所谓的平板电容结构，就是在平板电容的两端施加电压，上级板可动，下极板固定。当外加驱动电压时，静电力使极板间距减小，造成静电力增大；静电力的增大进一步引起极板间距的减小，又使静电力进一步增大，这是一个正反馈过程。因此，通过对外加电压的控制实现镜面的扭转，但只有当驱动电压在一定范围内才是稳定的。

一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造, 低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。一维MEMS 扫描镜：一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维MEMS扫描镜需要特殊的驱动控制模块，我司可提供与之匹配的专业驱动控制模块。

MEMS扫描微镜特性：MEMS扫描镜裸片与用于垂直扫描位置反馈的压阻式应变传感器靠得很近。位置系统反馈信号可以提高投影式显示器长时间使用和在不同环境条件下的稳定性，红、蓝和绿色激光二极管与MEMS扫描镜集成在一起形成一个紧凑的彩色显示引擎，如图6所示。扫描镜系统在设计中使用了MEMS和小型激光器，包含光源在内，整个体积不超过5cm^3，高度只6mm。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm/直径1.4mm）采用半导体硅技术制造，低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。利用MEMS二维扫描微镜，以及半导体激光器的光强调制技术，可以实现全高清的微型激光投影仪。家用MEMS扫描镜销售厂家

按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜。广东低成本MEMS扫描微镜定制

MEMS扫描微镜的成功应用：MEMS微镜在DLP的应用是一个成功的例子。DLP显示的主要技术则是采用静电原理的MEMS微镜组成的阵列，每一面微镜构成一个单色像素，由微镜下层的寄存器控制特定镜片在开关状态间的高速切换，将不同颜色的像素糅合在一起。DLP技术在1987年问世，较初只用于**，直到1996年才投入商业化应用：投影仪。与传统的35毫米胶片电影相比，DLP影院显示技术所呈现的影像色彩更鲜艳、更准。这多亏了DLP显示引擎光学效率的BrillianColor（色彩）技术，这种技术不只让电影公司在影片的包装和发行上变得更得心应手，同时也让观众能享受到更精彩的视觉盛宴。更重要的是，DLP芯片出色的高稳定性和高可靠性也是让其能够在影院大放异彩的重要原因之一。广东低成本MEMS扫描微镜定制

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