珠海MEMS扫描镜有哪些

时间:2021年11月02日 来源:

MEMS微镜的应用领域比较普遍,MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动,这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步,它无需使用电机,且限制了会引起摩擦的机械部件。从理论上讲,降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。分辨率的提高主要来自调整反射镜和激光发射器的尺寸。通过提高分辨率,开发者旨在提高对象检测和识别的可靠性。MEMS微镜的使用仍然涉及移动部件的使用,并伴随着可靠性和准确性的风险。但MEMS微镜也已经应用于汽车其他领域,例如DLP方案的HUD和前照灯系统,且已经通过了车规级的NVH测试。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。珠海MEMS扫描镜有哪些

一维MEMS扫描镜简介:一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式,以达到大光学扫描角的性能,可实现光束。一维空间的精确扫描;用户可根据实际应用的光学系统需求,选择合适的反射镜面尺寸及性能参数;镜面表面以金或铝为标准镀膜材料,为不同工作波长光束提供高反射率;若采用两颗一维MEMS扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描,可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率珠海MEMS扫描镜有哪些与机械式相比,MEMS的优势有很多。

MEMS扫描镜的相关信息:在自动驾驶发展热潮中,激光雷达普遍被认为是实现自动/无人驾驶的主要赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上,通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量,因此激光束扫描是激光雷达系统设计的主要环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗,同时成本高昂。因此,采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达,被业界认为是较有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。我司可以满足普遍的客户应用需求,极大地缩短客户的产品开发时间。

MEMS微镜的运动方式:扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点,微镜是指采用光学MEMS技术制造的,把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜,当其光学偏转角度较大(达到10°以上),主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时,可被称为“MEMS扫描镜”,以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜在激光投影、激光成像、激光加工、激光传感等应用具有普遍的需求,是激光应用必不可少的关键激光元器件,较近成为关注的热点。一维MEMS扫描镜是低功耗静电驱动,以高速谱振模式,实现大的光学扫描角度和高扫描频率。

MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动,这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步,它无需使用电机,且限制了会引起摩擦的机械部件。从理论上讲,降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。分辨率的提高主要来自调整反射镜和激光发射器的尺寸。通过提高分辨率,开发者旨在提高对象检测和识别的可靠性。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。一维MEMS扫描镜需要特殊的驱动控制模块,我司可提供与之匹配的专业驱动控制模块。珠海MEMS扫描镜有哪些

利用大镜面的MEMS二维扫描微镜,可以实现固态激光雷达的小型化、低成本和可批量生产。珠海MEMS扫描镜有哪些

MEMS扫描微镜的发展趋势:MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米,镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜,可以承受的激光功率可达到瓦级以上,因此可以满足信息激光应用的要求。:MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看,发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度,对MEMS三维激光雷达应用;MEMS扫描镜的直径数毫米,水平光学扫描角度高达110°,垂直光学扫描角度25~40°,谐振频率高达数十kHz。珠海MEMS扫描镜有哪些

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