广州汽车HUDMEMS扫描镜

MEMS扫描微镜的购买要注意找正规的机构，MEMS微镜按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动。其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。比如德州仪器的DLP中的MEMS微镜阵列采用的是静电驱动模式，且在投影领域一家独大；而博世较新推出的全新交互式激光投影微型扫描仪BML050中的MEMS微镜、滨松今年发布的MEMS微镜S12237-03P、MEMS微镜，均采用电磁驱动原理。MEMS微镜采用电热驱动原理。而压电驱动的产品还未看到大规模量产的企业。MEMS扫描微镜可以进行双轴扫描。广州汽车HUDMEMS扫描镜

MEMS扫描微镜的安装简单，MEMS扫描微镜也叫振镜，微镜沿着x、y两个方向扫描，可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片，扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的。现在大家普遍觉得MEMS方案比较靠谱，能够很快落地。与机械式相比，MEMS的优势很多，如安装简单、体积更小、价格便宜。MEMS器件的工艺制程并不高，只是微米级。整体来说，国内现在MEMS代工企业还属于起步阶段，目前比较成熟的产品有麦克风和压力传感器等。MEMS代工的特点是“一种器件、一套工艺”，所以MEMS微镜对于代工厂来说是比较新的产品，工艺的导入和量产中都需要解决很多新的问题，要跟MEMS代工厂合作，要慢慢地去“培养”MEMS代工厂，和代工厂一起成长。广州汽车HUDMEMS扫描镜一维MEMS扫描镜的特征：稳定性、重复性好。

MEMS扫描镜：在整片的单晶硅上采用无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。这种模式可称为点对点模式，或者是静态模式。在这种情况下两个轴利用设备操作的宽带宽从直流到某个频率，并且不允许谐振。因此镜子可以保持在某一位置，或者以匀速运动或执行矢量图形等。

MEMS扫描微镜的使用比较多，MEMS微镜按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动。其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。比如仪器的DLP中的MEMS微镜阵列采用的是静电驱动模式，且在投影领域一家独大；而较新推出的全新交互式激光投影微型扫描仪BML050中的MEMS微镜、发布的MEMS微镜S12237-03P、意法半导体与其他司合作生产的MEMS微镜，均采用电磁驱动原理；MEMS微镜采用电热驱动原理。而压电驱动的产品还未看到大规模量产的企业。MEMS微镜按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动。

一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。MEMS微镜中所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术。通过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光路。虽然驱动力较其他原理的器件相比偏小，但工艺兼容性较好，可以使用体硅和表面硅机械加工工艺制作，便于实现集成。静电驱动技术按结构分，主要有平行板电容结构、抓刮结构（scratchdriveactuator，SDA）和梳齿结构三大类。所谓的平板电容结构，就是在平板电容的两端施加电压，上级板可动，下极板固定。当外加驱动电压时，静电力使极板间距减小，造成静电力增大；静电力的增大进一步引起极板间距的减小，又使静电力进一步增大，这是一个正反馈过程。一维 MEMS扫描镜的应用：手势动作感测。广州汽车HUDMEMS扫描镜

MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。广州汽车HUDMEMS扫描镜

一维MEMS扫描镜的使用：一维MEMS扫描镜要到正规的厂家进行购买，微视传感基于MEMS微镜3D视觉解决方案正助力机器视觉产业的蓬勃发展，其方案普遍应用于3D建模、智能安防、智能机器人、AGV、无人驾驶、汽车HUD等新兴行业。一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维空间的精确扫描；用户可根据实际应用的光学系统需求，选择合适的反射镜面尺寸及性能参数；镜面表面以金或铝为标准镀膜材料，为不同工作波长光束提供高反射率；若采用两颗一维MEMS扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描，可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。广州汽车HUDMEMS扫描镜

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