静电驱动MEMS扫描微镜供货商

MEMS扫描镜的分类：根据扫描镜运动方式，MEMS扫描镜可以分为谐振式和准静态式两种。谐振式MEMS扫描镜工作在机械谐振状态，其扫描角度大、驱动功耗低、扫描电压低，图像化激光扫描、激光成像是其主要的应用市场。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态，扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停，主要应用于激光指向、激光矢量化图形扫描，其扫描角度范围相对较小。在同一MEMS扫描镜中，其二维扫描也可以分别工作于谐振和非谐振两种状态。MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件。静电驱动MEMS扫描微镜供货商

MEMS扫描微镜特性：MEMS扫描镜裸片与用于垂直扫描位置反馈的压阻式应变传感器靠得很近。位置系统反馈信号可以提高投影式显示器长时间使用和在不同环境条件下的稳定性，红、蓝和绿色激光二极管与MEMS扫描镜集成在一起形成一个紧凑的彩色显示引擎，如图6所示。扫描镜系统在设计中使用了MEMS和小型激光器，包含光源在内，整个体积不超过5cm^3，高度只6mm。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm/直径1.4mm）采用半导体硅技术制造，低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。静电驱动MEMS扫描微镜供货商MEMS 扫描镜的应用是比较多的。

MEMS扫描镜的使用：按照驱动方式的不同，MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用普遍的驱动方式。

MEMS扫描微镜具有的优势是比较多的，扫描微镜激光系统能够产生连续光束，而不会像LED前照灯那样，出现当单颗LED启动或关闭时出现的“跳跃”照明区域边界的情况。另一个非常重要的优势是这款系统能够根据需要重新调整光通量，提高光源的平均利用率，降低系统功耗。这项激光器技术或将为MEMS产品带来一块全新的市场。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率。MEMS扫描镜被普遍的应用在光通信、扫描成像、激光雷达。

MEMS扫描微镜的发展趋势：MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上，因此可以满足信息激光应用的要求。：MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看，发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度，对MEMS三维激光雷达应用；MEMS扫描镜的直径数毫米，水平光学扫描角度高达110°，垂直光学扫描角度25~40°，谐振频率高达数十kHz。MEMS的优势：体积更小。上海3DMEMS器件

一维MEMS扫描镜的特征：纯硅制造工艺。静电驱动MEMS扫描微镜供货商

MEMS微镜的使用是比较多的，MEMS微镜已成为激光雷达主流，少数公司只使用摄像头，有些场景（如纯白或纯色）场景可能难以识别，而激光雷达可以很快计算出距离、速度等各种信息，实现对环境的高分辨率识别。以往的机械式激光雷达光学和电学系统非常复杂，只有一些公司还在使用，无法大规模量产。较新技术是采用MEMS扫描微镜的激光雷达，国内一些已经在使用国产MEMS微镜芯片开始定点项目量产。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产。静电驱动MEMS扫描微镜供货商

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