珠海MEMS扫描镜制造

MEMS微镜的应用领域：MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、国防、通讯等。这其中有已经量产的应用，还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。静电驱动MEMS扫描微镜是抓刮结构SDA驱动的MEMS微镜。珠海MEMS扫描镜制造

MEMS3D激光扫描微镜系统与 X-Y 平面激光扫描系统进行比较，可以发现3D激光扫描微镜系统优势明显：扫描速度高：通过微镜的微小角度偏转即可实现激光大范围移动； 定位精度高：位置传感器的使用和负反馈回路的设计思路保证了系统的精度;噪音小：微镜旋转时几乎不发出声音；和工作环境非直接接触，整个系统可位于加工物质之外;焦距可变范围大，可连续快速完成三维产品的焊接;可焊难焊材料。激光微镜焊接主要采取计算机控制系统进行控制，其可以通过自动焊接焊手工难以焊接的工件。珠海MEMS扫描镜制造任何MEMS芯片的量产从来都不是简单的事。

MEMS器件的封装材料有哪些？MEMS器件对封装材料有如下要求：封装材料的电导性要低，以降低电信号传送的干扰；传热性要好，对某些应用是需要散热，而另一些应用，诸如热 传感器，则要求其与外界的温度保持一致；密封性能要好，对一些微机械结构而言，空气中的某些气体成分对其有腐蚀作用，而且杂质也会影响微机械系统的正常工 作，因此要求封装材料具有良好的密封性能，才能保证器件的高可靠性。目前，用于MEMS封装的材料主要有陶瓷、金属和塑料等几种。

MEMS扫描微镜及其选型参数：单轴和双轴MEMS微镜均可根据工作模式划分为谐振状态、非谐振状态和半谐振状态。按照MEMS扫描微镜的驱动方式不同，可划分为静电驱动（ES），电磁驱动（EM），电热驱动（ET）以及压电驱动（PE）四种。MEMS扫描微镜的光学特性与激光雷达的空间分辨率、探测距离等参数息息相关。其中空间分辨率与激光波长、激光光束质量正相关，与激光光斑大小负相关，市场期望激光雷达的角分辨率尽可能小于1mrad，因此有着较好的激光光束质量时，MEMS扫描微镜的直径应不小于1mm。探测距离则与发射激光功率、透射效率、障碍物发射率、接收端半径等参数相关。MEMS微镜现在已经很小了，未来还会怎么发展呢？

MEMS扫描微镜的应用：MEMS器件可用作单功能传感器。在同一封装中捆绑了多个MEMS类别的模块；以及高度集成的片上系统（SoC）器件，将MEMS器件，信号调理电子器件甚至嵌入式处理器集成在一个部件中。输出可以采用多种形式：模拟电压；输出电压；标准串行总线，例如SPI或I2C；或在汽车安全气囊应用中流行的协议（例如DSI或PSI5）；无线连接选项包括低功耗蓝牙（BLE）。MEMS技术已通过测量它们对适当MEMS结构的影响而应用于测量许多不同的数量。MEMS扫描微镜采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成。珠海MEMS扫描镜制造

MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。珠海MEMS扫描镜制造

MEMS器件可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。MEMS器件在工业、信息和通信、国防、航空航天、航海、医疗和物生工程、农业、环境和家庭服务等领域有着潜在的巨大应用前景。目前，MEMS器件的应用领域中领头的有：汽车、医疗和环境；正在增长的有：通信、机构工程和过程自动化；还在萌芽的有：家用/安全、化学/配药和食品加工。二十一世纪MEMS器件将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、科学发展产生重大影响。珠海MEMS扫描镜制造

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