激光扫描MEMS器件研发厂家

MEMS扫描镜的相关信息：在自动驾驶发展热潮中，激光雷达普遍被认为是实现自动/无人驾驶的主要赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上，通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量，因此激光束扫描是激光雷达系统设计的主要环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗，同时成本高昂。因此，采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是较有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。我司可以满足普遍的客户应用需求，极大地缩短客户的产品开发时间。MEMS扫描镜所采用的驱动技术有哪些？激光扫描MEMS器件研发厂家

二维MEMS扫描微镜的镜面直径为5mm(可根据客户需求进行定制)，具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、扭转转角大、生产成本低等特点，主要应用领域包括汽车激光雷达(LiDAR)等3D扫描应用。采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。二维MEMS扫描镜的镜面直径通常为数毫米，镜面采用金反射薄膜，可以满足大功率红外激光应用的要求。MEMS扫描微镜上集成了角度传感器，通过控制电路采集传感器的反馈信号以实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。杭州医疗MEMS扫描微镜价格MEMS扫描微镜的使用要注意采取正确的方法。

MEMS扫描微镜：MEMS扫描镜组件中有一个反射镜悬浮在常平架(GimbalFrame)内，常平架上有一个微加工的通电线圈。MEMS裸片周围安装有永磁体，用于提供磁场。只要给MEMS线圈施加一个电流，就能在常平架上产生一个磁力扭矩，并沿旋转轴的两个方向产生分量这种设计的一个关键特性是只有一个驱动信号输入到MEMS。为了产生双轴移动，垂直和水平移动的波形只需做简单的叠加。扭矩的一个分量使常平架绕其挠曲悬架旋转(左)；另一个分量则激发扫描镜谐振模式的振动，使反射镜绕常平架的挠曲悬架旋转(右)。这种复合的镜驱动波形由60Hz垂直扫描锯齿波函数和激发水平扫描谐振的高频正弦波叠加而成。

MEMS扫描镜所采用的驱动技术：MEMS扫描镜的驱动技术有四种，即静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动，其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。静电驱动MEMS扫描镜（如图7）采用单晶硅制造，工艺简单、成熟，芯片尺寸小，驱动功耗极低，封装也比较简单，属电压驱动型器件。静电驱动MEMS扫描镜由于器件工作于谐振状态，可以实现大角度的扫描，但驱动电压会比较高。由于电磁驱动的力密度大，电磁驱动MEMS扫描镜也获得普遍的应用，其扫描角度大，可以实现线性扫描。电磁驱动器件工艺涉及数十微米厚度的电磁线圈的制造，封装需要配置永磁铁，器件模块尺寸稍大些。该器件属电流驱动型器件，驱动电流达数十毫安，驱动功耗较高。器件既可工作于谐振状态，也可以工作于非谐振状态，当工作与谐振状态时，驱动功耗可以大幅度降低。MEMS扫描微镜全部由单晶硅制成.

MEMS微镜的应用领域：MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、国防、通讯等。这其中有已经量产的应用，还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上。激光扫描MEMS器件研发厂家

随着使用时间的推移，MEMS扫描镜依然保持着极高的性能。激光扫描MEMS器件研发厂家

MEMS器件中的MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个单独的智能系统。主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术，为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。激光扫描MEMS器件研发厂家

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