上海MEMS扫描镜提供商

MEMS扫描镜的相关信息：在自动驾驶发展热潮中，激光雷达普遍被认为是实现自动/无人驾驶的主要赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上，通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量，因此激光束扫描是激光雷达系统设计的主要环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗，同时成本高昂。因此，采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是较有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。我司可以满足普遍的客户应用需求，极大地缩短客户的产品开发时间。一维MEMS扫描镜的稳定性好。上海MEMS扫描镜提供商

MEMS扫描镜的特点：传统的光学扫描镜体积大、成本高，且多为散装，限制了其应用。相较于传统的扫描镜，MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点，以被普遍的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同，MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜，一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转，二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描，可以选用两个一维的扫描镜，也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大，但是结构也更复杂，控制的难度也就越大。上海MEMS扫描镜提供商MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。

MEMS3D激光扫描微镜系统与 X-Y 平面激光扫描系统进行比较，可以发现3D激光扫描微镜系统优势明显：扫描速度高：通过微镜的微小角度偏转即可实现激光大范围移动； 定位精度高：位置传感器的使用和负反馈回路的设计思路保证了系统的精度;噪音小：微镜旋转时几乎不发出声音；和工作环境非直接接触，整个系统可位于加工物质之外;焦距可变范围大，可连续快速完成三维产品的焊接;可焊难焊材料。激光微镜焊接主要采取计算机控制系统进行控制，其可以通过自动焊接焊手工难以焊接的工件。

根据扫描镜工作方式分类，MEMS扫描微镜可以分为准静态式和谐振式两种， 准静态式主要应用在激光指向之中，谐振式主要应用于激光扫描成像之中。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态，扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停，其扫描角度范围相对较小。谐振式 MEMS 扫描镜工作在机械谐振状态，扫描图案为李萨如图形。这种工作方式扫描角度大、功耗低，图像化激光扫描、 激光成像是其主要的应用方向。作为激光雷达扫描器使用时，选取电磁驱动的谐振式 MEMS 微镜。MEMS 激光雷达探测原理如图所示。MEMS振镜可以在二维方向上同时振动，而当一个质点同时参与两个互相垂直的简谐振动，并且它们的频率比是整数比时，扫 描轨迹稳定并且扫描线闭合，称为李萨如图形（Lissajou pattern）。一维MEMS扫描镜的重复性好。

MEMS扫描微镜也叫振镜，微镜沿着x、y两个方向扫描，可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片，扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的，与机械式相比，MEMS的优势很多，如安装简单、体积更小、价格便宜，有希望在乘用车上普及。MEMS激光雷达只需要一个激光器和MEMS微镜组合就能实现激光脉冲的扫描，装配起来很简单。从成本考虑，由于采用半导体工艺，量大了成本也会很便宜。二维MEMS扫描微镜镜面采用金反射薄膜，可以满足大功率红外激光应用的要求。上海MEMS扫描镜提供商

利用MEMS二维扫描微镜，以及半导体激光器的光强调制技术，可以实现全高清的微型激光投影仪。上海MEMS扫描镜提供商

MEMS扫描镜技术未来的发展趋势是什么？MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看，发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度，对MEMS三维激光雷达应用；MEMS扫描镜的直径数毫米，水平光学扫描角度高达110°，垂直光学扫描角度25~40°，谐振频率高达数十kHz。从MEMS扫描镜的轴数看，双轴扫描镜是技术发展趋势，这样能大幅度降低封装成本。从MEMS扫描镜的扫描角度精度看，发展趋势是扫描镜集成制造角度传感器，采用闭环控制方法实现对扫描微镜的精确控制。从MEMS扫描镜的驱动方式看，由于压电驱动具有更高的力密度，压电驱动MEMS扫描镜将可能成为技术新方向。上海MEMS扫描镜提供商

无锡微视传感科技有限公司是一家公司聚焦MEMS芯片以及3D成像领域，为客户提供MEMS微 镜芯片、结构光投射模组、3D相机以及3D方案。MEMS扫描微镜系列化芯片、MEMS稳态微镜系列化光通讯芯片、MEMS红外测温芯片与模块以及纳米压印模板的公司，是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。公司自创立以来，投身于一维MEMS扫描微镜，二维MEMS扫描微镜，3D编码结构光投射模组，3D结构光深度相机，是电子元器件的主力军。无锡微视传感科技始终以本分踏实的精神和必胜的信念，影响并带动团队取得成功。无锡微视传感科技始终关注电子元器件行业。满足市场需求，提高产品价值，是我们前行的力量。