深圳一维MEMS器件怎么样

时间:2022年03月23日 来源:

MEMS二维扫描微镜的使用:MEMS二维扫描微镜利用微加工技术,批量制备高性能光学扫描微镜,可以实现对激光束和激光脉冲的精密扫描定位和操控。利用MEMS二维扫描微镜,以及半导体激光器的光强调制技术,可以实现全高清的微型激光投影仪,满足移动大屏显示的需求。利用MEMS二维扫描微镜结合红外激光器的调制,可以实现红外结构光的发射,满足3D相机对结构光投影的性价比的要求。利用大镜面的MEMS二维扫描微镜,可以实现固态激光雷达的小型化、低成本和可批量生产,满足自动驾驶对激光雷达的要求。MEMS扫描微镜的特点有很多。深圳一维MEMS器件怎么样

MEMS扫描微镜的发展趋势:MEMS扫描镜的反射镜面直径通常为数毫米,镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度只为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜,可以承受的激光功率可达到瓦级以上,因此可以满足信息激光应用的要求。:MEMS扫描镜技术的发展趋势是更好地满足各项应用的技术要求、更低的成本、更高的可靠性。从MEMS扫描镜的技术参数看,发展趋势是大尺寸镜面、大扫描角度,对MEMS三维激光雷达应用;MEMS扫描镜的直径数毫米,水平光学扫描角度高达110°,垂直光学扫描角度25~40°,谐振频率高达数十kHz。深圳一维MEMS器件怎么样MEMS器件机械电气性能优良。

用于光通讯交换的MEMS器件:对于光通讯而言,发展全光交换系统一直就是业界孜孜不倦所追求的目标。而MEMS技术则被普遍认为是目前能够被用来实现全光交换较有希望的技术手段。基于MEMS技术的全光交换原理并不复杂。MEMS技术被用来在硅晶上刻出微小的反射镜,这些微小的反射镜被排成一个二维的阵列。每一个反射镜都有一个活动的微镜架以及可以被电信号驱动的微铰链。处于正常状态的微反射镜平躺着,电压信号加上后,微反射镜立起来,可以将入射光信号反射到垂直的方向上去。一个n x n的二维反射阵列可以用来控制n束信号光之间的全交换。

MEMS器件的封装材料有哪些?铸模塑料不具备陶瓷或者金属的密封性能,但由于其成本低廉、可塑性强的优点而在集成电路封装中得到越来越多的使用。而且近年来铸模塑料封装在提高可靠性方面的研究取得了很大进展因而应用更为普遍。在MEMS器件封装方面,由于密封性能不够好,而限制了塑料封装在某些对密封性能要求较高的领域的应用。目前, 吸气剂方面的研究成果则给了塑料封装在MEMS方面应用的新契机。吸气剂可以用来去除MEMS器件内部的湿气以及其他一些会影响器件可靠性的微粒,使用适量的吸气剂和塑料封装技术就可能获得准密封的封装效果,从而在降低封装成本的同时保证了MEMS器件的可靠性。购买MEMS扫描微镜要注意去找正规的厂家。

微镜具有的优点:低功耗和低的制造成本。许多行业将微镜普遍用于MEMS应用。微镜具有普遍的潜在应用。比如,微镜可用于控制光学元件,由于具有这种功能,它们在显微镜和光纤领域非常有用。微镜常用于扫描仪、平视显示器和医学成像等领域。此外,MEMS系统有时还将集成扫描微镜系统用于消费者和通信应用。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。利用MEMS二维扫描微镜,以及半导体激光器的光强调制技术,可以实现全高清的微型激光投影仪。深圳一维MEMS器件怎么样

MEMS扫描微镜的系统可以可靠地感知周围的环境,并且不易受到干扰,同时尺寸小巧、易于集成。深圳一维MEMS器件怎么样

MEMS扫描镜全部由单晶硅制成,也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件,例如,金属、聚合物、压电材料等。使其拥有良好的重复性和可靠性。采用无万向节设计,使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°,在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜,可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。MEMS扫描镜采用静电驱动且选用整个单晶硅制备而成,因此使得驱动电压和偏转角度之间存在良好的一一对应的关系,并且有着可重复性,而且随着使用时间的推移依然保持着极高的性能。对于开环的微振镜,致动器在每个轴上至少有14Bits(约16384个位置),因此当机械偏转角度为-5°到+5°是,角度的分辨率可达到10微弧度。深圳一维MEMS器件怎么样

无锡微视传感科技有限公司致力于电子元器件,是一家贸易型的公司。公司业务涵盖一维MEMS扫描微镜,二维MEMS扫描微镜,3D编码结构光投射模组,3D结构光深度相机等,价格合理,品质有保证。公司注重以质量为中心,以服务为理念,秉持诚信为本的理念,打造电子元器件良好品牌。无锡微视传感科技秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念,全力打造公司的重点竞争力。

信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责