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MEMS扫描微镜及其选型参数：对于自动驾驶应用的双轴MEMS激光雷达，MEMS扫描微镜的横轴（水平方向，快轴）扫描频率应在0.5-2KHz之间，纵轴（垂直方向，慢轴）扫描频率应在10-30Hz之间。此外，若选用的MEMS扫描微镜的谐振频率较高，激光雷达的分辨率、帧率及鲁棒性均更佳。多种用途激光雷达的MEMS扫描微镜参考：总体而言，MEMS扫描微镜的FoM值越大，越利于激光雷达性能提升。相较而言，单轴MEMS扫描微镜因整体结构更为简便，所以更容易得到更大的扫描角度，更大的光学孔径和更高的谐振频率。MEMS器件以硅为主要材料。2DMEMS器件市场

MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。MEMS系统与一般的机械系统相比，不只体积缩小，而且在力学原理和运动学原理，材料特性、加工、测量和控制等方面都将发生变化。在MEMS系统中，所有的几何变形是如此之小(分子级)，以至于结构内应力与应变之间的线性关系(虎克定律)已不存在。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之间的分子相互作用力引起的，而不是由于载荷压力引起。MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。2DMEMS器件市场MEMS扫描微镜的系统可以可靠地感知周围的环境，并且不易受到干扰，同时尺寸小巧、易于集成。

MEMS器件发展前景广阔，可应用于机械的高级维护系统、微型工厂、人体管腔诊断和检查系统等需要微型、微细机械的场合。利用MEMS技术可制成突破通信瓶颈的全光交换机、准确检测病变的基因芯片、比手掌还小的飞行器、重量只有几十克的微小卫星等。事实上，MEMS是一项极具前途的两用技术。在过去十多年中, MEMS技术已经应用于安全气囊传感器（加速计）、压力传感器、显示器、自适应光器件、数字微镜器件、扫描仪、血压测量传感器、图象传感器、硬盘驱动器中的加速度传感器、蜂窝电话中应用的微继电器、电视中应用的微型透镜、喷墨打印头以及数据存储器等。在通信方面，光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展， 无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗, MEMS技术在这些方面有很大的优势。

MEMS扫描微镜的所谓静电驱动技术，就是利用电荷间的库仑力作为驱动力进行驱动的技术。通过静电作用使可以活动的微镜面转动，从而改变光路。虽然驱动力较其他原理的器件相比偏小，但工艺兼容性较好，可以使用体硅和表面硅机械加工工艺制作，便于实现集成。静电驱动技术按结构分，主要有平行板电容结构、抓刮结构（scratchdriveactuator，SDA）和梳齿结构三大类。所谓的平板电容结构，就是在平板电容的两端施加电压，上级板可动，下极板固定。当外加驱动电压时，静电力使极板间距减小，造成静电力增大；静电力的增大进一步引起极板间距的减小，又使静电力进一步增大，这是一个正反馈过程。因此，通过对外加电压的控制实现镜面的扭转，但只有当驱动电压在一定范围内才是稳定的。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之间的分子相互作用力引起的，而不是由于载荷压力引起。

MEMS器件范围很广，从没有任何活动部件的简单机器到具有多个活动部件的复杂机电系统。这些系统有许多不同类型：磁性，电气，热，化学，光学和机械系统。制造MEMS器件需要采用与制造其他半导体电路相同的许多技术：氧化，扩散，离子注入，低压化学气相沉积（LPCVD），溅射等。另外，MEMS使用诸如微机械加工的专门工艺。与早期实现相同功能的方法相比，MEMS设备更小，成本更低，功耗更低。它们也非常敏感且非常准确。MEMS器件还具有出色的可重复性，因此还受益于半导体工艺技术固有的严格公差。MEMS扫描微镜的使用要注意采取正确的方法。2DMEMS器件市场

MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的。2DMEMS器件市场

电子元器件行业位于产业链的中游，介于电子整机行业和电子原材料行业之间，其发展的快慢，所达到的技术水平和生产规模，不仅直接影响着整个电子信息产业的发展，而且对发展信息技术，改造传统产业，提高现代化装备水平，促进科技进步都具有重要意义。对于下一步发展计划，不少行家和企业表示，后续将继续完善电子信息全产业链的交易服务平台，深耕拓展公司聚焦MEMS芯片以及3D成像领域，为客户提供MEMS微 镜芯片、结构光投射模组、3D相机以及3D方案。MEMS扫描微镜系列化芯片、MEMS稳态微镜系列化光通讯芯片、MEMS红外测温芯片与模块以及纳米压印模板线下授权分销及上下游相关行业，完善产业布局，通过发挥华强半导体集团的大平台优势，整合优化公司聚焦MEMS芯片以及3D成像领域，为客户提供MEMS微 镜芯片、结构光投射模组、3D相机以及3D方案。MEMS扫描微镜系列化芯片、MEMS稳态微镜系列化光通讯芯片、MEMS红外测温芯片与模块以及纳米压印模板线下授权分销业务内外部资源。眼下，市场缺口较大的，还是LCD领域，由于LCD价格逐渐提高，同时也开始向新的贸易型方向发展，相应的电子元器件产能并没有及时跟进。因此，对于理财者来说，从这一方向入手，有望把握下**业增长的红利。目前，我们的生活充斥着各种电子产品，无论是智能设备还是非智能设备，都离不开电子元器件的身影。智能化发展带来的经济化效益无疑是**为明显的，但是在它身后的一维MEMS扫描微镜，二维MEMS扫描微镜，3D编码结构光投射模组，3D结构光深度相机前景广阔。2DMEMS器件市场

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