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MEMS微镜的运动方式：扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点，微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜在激光投影、激光成像、激光加工、激光传感等应用具有普遍的需求，是激光应用必不可少的关键激光元器件，较近成为关注的热点。MEMS扫描微镜采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微镜拥有更高的速度。数字显示MEMS器件报价

MEMS器件范围很广，从没有任何活动部件的简单机器到具有多个活动部件的复杂机电系统。这些系统有许多不同类型：磁性，电气，热，化学，光学和机械系统。制造MEMS器件需要采用与制造其他半导体电路相同的许多技术：氧化，扩散，离子注入，低压化学气相沉积（LPCVD），溅射等。另外，MEMS使用诸如微机械加工的专门工艺。与早期实现相同功能的方法相比，MEMS设备更小，成本更低，功耗更低。它们也非常敏感且非常准确。MEMS器件还具有出色的可重复性，因此还受益于半导体工艺技术固有的严格公差。数字显示MEMS器件报价MEMS器件是一个单独的智能系统。

按照驱动方式的不同，MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是，利用电能转换为热能，再转换为机械能驱动，其优点是驱动力和驱动位移较大，但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动，具有驱动力大、响应速度快等优点，但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动，具有较大的驱动力力和驱动位移，但是响应速度偏慢，且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动，具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用很广的驱动方式。

MEMS器件的封装材料有哪些？陶瓷封装：可靠、可塑、易密封等特性使得陶瓷在电子封装领域占有重要地位，它被普遍使用于多芯片组件以及球栅阵列等先进的电子封装技术中。这些优点也使陶瓷成为MEMS器件的封装的首要材料，许多已经商业化的微机械传感器都使用了陶瓷封装。但是使用陶瓷封装的成本要高于其他材料。金属封装：在集成电路工业发展初期，芯片上的晶体管和引脚数目较少，而金属封装由于其坚固性和易组装性而得到应用。出于同样的原因，也有很多MEMS器件使用了金属封装。同时，金属封装还具有短的制作周期，焊封后的密封性较好等优点。微镜具有普遍的潜在应用。

MEMS扫描镜，是通过电机驱动镜面倾斜，从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜等常见的光束扫描器件，MEMS扫描镜具有体积小、重量轻、功耗低、对环境影响不敏感等特点，而且MEMS扫描镜可与位置传感器集成使用，实现更高的定位精度。MEMS扫描镜不含有任何移动的金属、塑料和线圈等部件，也没有易于发生故障的压电或电磁促动器，所以该具有很高的位置重复精度与可靠性。由免维护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式，因此工作过程中没有电流。MEMS微镜的应用领域比较普遍。数字显示MEMS器件报价

MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。数字显示MEMS器件报价

MEMS扫描镜：在整片的单晶硅上采用无万向节设计和独特的多级悬梁制造工艺制作一个完整的微镜促动器。其中采用无万向节设计可以使微镜在成像或光束偏转时可以在两个轴上达到同样的高速度。一个普通的拥有0.8mm直径的微镜，当机械偏角为-6°到+6°时，非谐振偏转速度超过1000rad/s，谐振频率更是达到3.6KHz。与常规的MEMS扫描镜不同的是，该微型振镜可以在多个模式下工作，即点对点模式（受迫振动）、混合模式和谐振模式。这种模式可称为点对点模式，或者是静态模式。在这种情况下两个轴利用设备操作的宽带宽从直流到某个频率，并且不允许谐振。因此镜子可以保持在某一位置，或者以匀速运动或执行矢量图形等。数字显示MEMS器件报价

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