广州平动MEMS扫描镜

MEMS器件的封装材料有哪些？MEMS器件对封装材料有如下要求：封装材料的电导性要低，以降低电信号传送的干扰；传热性要好，对某些应用是需要散热，而另一些应用，诸如热 传感器，则要求其与外界的温度保持一致；密封性能要好，对一些微机械结构而言，空气中的某些气体成分对其有腐蚀作用，而且杂质也会影响微机械系统的正常工 作，因此要求封装材料具有良好的密封性能，才能保证器件的高可靠性。目前，用于MEMS封装的材料主要有陶瓷、金属和塑料等几种。一维MEMS扫描镜的稳定性好。广州平动MEMS扫描镜

MEMS器件范围很广，从没有任何活动部件的简单机器到具有多个活动部件的复杂机电系统。这些系统有许多不同类型：磁性，电气，热，化学，光学和机械系统。制造MEMS器件需要采用与制造其他半导体电路相同的许多技术：氧化，扩散，离子注入，低压化学气相沉积（LPCVD），溅射等。另外，MEMS使用诸如微机械加工的专门工艺。与早期实现相同功能的方法相比，MEMS设备更小，成本更低，功耗更低。它们也非常敏感且非常准确。MEMS器件还具有出色的可重复性，因此还受益于半导体工艺技术固有的严格公差。广州平动MEMS扫描镜二维MEMS扫描微镜的镜面直径通常为数毫米。

二维MEMS扫描微镜的镜面直径为5mm(可根据客户需求进行定制)，具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、扭转转角大、生产成本低等特点，主要应用领域包括汽车激光雷达(LiDAR)等3D扫描应用。采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。二维MEMS扫描镜的镜面直径通常为数毫米，镜面采用金反射薄膜，可以满足大功率红外激光应用的要求。MEMS扫描微镜上集成了角度传感器，通过控制电路采集传感器的反馈信号以实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。

根据扫描镜工作方式分类，MEMS扫描微镜可以分为准静态式和谐振式两种， 准静态式主要应用在激光指向之中，谐振式主要应用于激光扫描成像之中。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态，扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停，其扫描角度范围相对较小。谐振式 MEMS 扫描镜工作在机械谐振状态，扫描图案为李萨如图形。这种工作方式扫描角度大、功耗低，图像化激光扫描、 激光成像是其主要的应用方向。作为激光雷达扫描器使用时，选取电磁驱动的谐振式 MEMS 微镜。MEMS 激光雷达探测原理如图所示。MEMS振镜可以在二维方向上同时振动，而当一个质点同时参与两个互相垂直的简谐振动，并且它们的频率比是整数比时，扫 描轨迹稳定并且扫描线闭合，称为李萨如图形（Lissajou pattern）。MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。

MEMS扫描微镜是比较耐用的，为了实现全新的创新型汽车照明技术，这项激光新技术的工作原理：一款波长约450nm的蓝光激光二极管，将激光照射到快速运动的MEMS微镜上，这款直径在毫米范围的MEMS微镜由Bosch开发。这款微镜由硅制成，是一款具有机电控制功能的微型光学系统，它非常坚固，能够确保长期使用的耐久性。该MEMS微镜负责将激光反射至荧光体，荧光体中包含嵌入矩阵的转换和散射颗粒。进而产生的混合散射蓝光和转换光通过调制获得白色光。凭借协同整合的MEMS微镜倾斜运动和激光器功率控制，可以在荧光体上产生任何想要的模式光，然后像幻灯片一样投射在路面上。而投射光模式可以根据高性能驾驶辅助传感器获得的信息进行调制，如摄像头、激光雷达（LiDAR）、雷达等传感器会将相关行车信息融合发送至车辆ECU，经过计算获得自适应的智能光束。二维MEMS扫描微镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。数字显示MEMS器件供应商

MEMS微镜的使用是比较多的。广州平动MEMS扫描镜

MEMS扫描镜，是通过电机驱动镜面倾斜，从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜等常见的光束扫描器件，MEMS扫描镜具有体积小、重量轻、功耗低、对环境影响不敏感等特点，而且MEMS扫描镜可与位置传感器集成使用，实现更高的定位精度。MEMS扫描镜不含有任何移动的金属、塑料和线圈等部件，也没有易于发生故障的压电或电磁促动器，所以该具有很高的位置重复精度与可靠性。由免维护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式，因此工作过程中没有电流。广州平动MEMS扫描镜

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