数字显示MEMS扫描微镜定制

MEMS器件的封装材料有哪些？铸模塑料不具备陶瓷或者金属的密封性能，但由于其成本低廉、可塑性强的优点而在集成电路封装中得到越来越多的使用。而且近年来铸模塑料封装在提高可靠性方面的研究取得了很大进展因而应用更为普遍。在MEMS器件封装方面，由于密封性能不够好，而限制了塑料封装在某些对密封性能要求较高的领域的应用。目前， 吸气剂方面的研究成果则给了塑料封装在MEMS方面应用的新契机。吸气剂可以用来去除MEMS器件内部的湿气以及其他一些会影响器件可靠性的微粒，使用适量的吸气剂和塑料封装技术就可能获得准密封的封装效果，从而在降低封装成本的同时保证了MEMS器件的可靠性。MEMS扫描镜的尺寸是很小的。数字显示MEMS扫描微镜定制

MEMS扫描微镜的购买要注意找正规的机构，MEMS微镜按原理区分，主要包括四种：静电驱动、电磁驱动、电热驱动、压电驱动。其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。比如德州仪器的DLP中的MEMS微镜阵列采用的是静电驱动模式，且在投影领域一家独大；而博世较新推出的全新交互式激光投影微型扫描仪BML050中的MEMS微镜、滨松今年发布的MEMS微镜S12237-03P、MEMS微镜，均采用电磁驱动原理。MEMS微镜采用电热驱动原理。而压电驱动的产品还未看到大规模量产的企业。数字显示MEMS扫描微镜定制微镜具有的优点：低功耗。

二维MEMS扫描微镜的镜面直径为5mm(可根据客户需求进行定制)，具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、扭转转角大、生产成本低等特点，主要应用领域包括汽车激光雷达(LiDAR)等3D扫描应用。采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。二维MEMS扫描镜的镜面直径通常为数毫米，镜面采用金反射薄膜，可以满足大功率红外激光应用的要求。MEMS扫描微镜上集成了角度传感器，通过控制电路采集传感器的反馈信号以实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。

一维MEMS扫描镜的工艺：一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。同时,可以根据不同需求定制其他不同大小镜面的MEMS微镜芯片。一维MEMS扫描镜：一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。按照扫描维度不同，MEMS扫描微镜可以分为一维扫描微镜和二维扫描微镜。

MEMS扫描微镜的优势在哪里？MEMS扫描微镜的优势主要体现在这些方面：MEMS扫描镜尺寸只为毫米量级，其采用MEMS批量化生产技术制造，生产成本将大幅度降低，使得对成本敏感的消费电子产品也可以大量使用。MEMS扫描镜具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、寿命长等特点。这些优势使得MEMS扫描镜适合于激光微投影、VR/AR近眼微显示、MEMS三维激光雷达、3D感测、3D扫描仪、汽车自适应头灯、汽车抬头显示(HUD)等，特别是可以满足智能手机、平板电脑和可穿戴设备的搭载要求。MEMS扫描微镜在DLP的应用是一个成功的例子。数字显示MEMS扫描微镜定制

二维MEMS扫描镜（直径3.0mm/直径1.4mm）采用半导体硅技术制造，低功耗静电驱动。数字显示MEMS扫描微镜定制

MEMS扫描微镜特性：MEMS扫描镜裸片与用于垂直扫描位置反馈的压阻式应变传感器靠得很近。位置系统反馈信号可以提高投影式显示器长时间使用和在不同环境条件下的稳定性，红、蓝和绿色激光二极管与MEMS扫描镜集成在一起形成一个紧凑的彩色显示引擎，如图6所示。扫描镜系统在设计中使用了MEMS和小型激光器，包含光源在内，整个体积不超过5cm^3，高度只6mm。二维MEMS扫描镜（直径3.0mm/直径1.4mm）采用半导体硅技术制造，低功耗静电驱动，快轴可达到几kHz共振模式，慢轴可实现稳定旋转，并可以实现二维光束空间用户可以根据光学系统的实际应用选择合适的镜面尺寸。数字显示MEMS扫描微镜定制

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