浙江电子MEMS扫描镜

MEMS扫描微镜镜片的维护及注意事项：擦洗方法如下：清洗镜片时，一定要非常小心，镜片清洗前，请看下面的注意事项：1.用工具来拿取镜片，例如镊子等。如有条件拿镜片时一定要戴指套或橡胶手套。2.镜片要放在镜头纸上，以避免损伤。3.不要把镜片放在硬或者粗糙的表面，镜片很容易被刮伤。4.纯金或者纯铜的表面不要清洁和触摸。第1步：用吹气球把镜片表面的浮物吹掉，如果不吹掉污染物，继续第2步。注意：不要用工厂的压缩空气，因为其中含有大量的油和水，油和水会在膜层表面形成有害的吸收薄膜。第二步：用乙醇（必须分析纯），擦镜纸叠成一小方块夹入四指之间沾湿擦镜纸，一手拿镜片一手拿纸以镜片镀膜纹路方向轻轻擦过，如不干净重复以上动作（擦一次换张纸）。注意：如果这一步不能去除污垢，建议换一镜片。MEMS扫描微镜在DLP的应用是一个成功的例子。浙江电子MEMS扫描镜

MEMS扫描微镜也叫振镜，微镜沿着x、y两个方向扫描，可以实现非常高频率的扫描。现在用于激光扫描投影的MEMS芯片，扫描频率可以达到40kHz，相当于一秒钟扫描4万次。微镜是一个硅结构的微型机械装置。有些微镜是用静电力来驱动的，与机械式相比，MEMS的优势很多，如安装简单、体积更小、价格便宜，有希望在乘用车上普及。MEMS激光雷达只需要一个激光器和MEMS微镜组合就能实现激光脉冲的扫描，装配起来很简单。从成本考虑，由于采用半导体工艺，量大了成本也会很便宜。高性能MEMS扫描微镜订购MEMS扫描镜能够保持着极高的性能。

MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。MEMS系统与一般的机械系统相比，不只体积缩小，而且在力学原理和运动学原理，材料特性、加工、测量和控制等方面都将发生变化。在MEMS系统中，所有的几何变形是如此之小(分子级)，以至于结构内应力与应变之间的线性关系(虎克定律)已不存在。MEMS器件中摩擦表面的摩擦力主要是由于表面之间的分子相互作用力引起的，而不是由于载荷压力引起。MEMS器件以硅为主要材料。硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当。密度类似于铝，热传导率接近铜和钨，因此MEMS器件机械电气性能优良。

根据扫描镜工作方式分类，MEMS扫描微镜可以分为准静态式和谐振式两种， 准静态式主要应用在激光指向之中，谐振式主要应用于激光扫描成像之中。准静态MEMS扫描镜工作在非谐振状态，扫描镜可以在扫描范围内的任意扫描角度暂停，其扫描角度范围相对较小。谐振式 MEMS 扫描镜工作在机械谐振状态，扫描图案为李萨如图形。这种工作方式扫描角度大、功耗低，图像化激光扫描、 激光成像是其主要的应用方向。作为激光雷达扫描器使用时，选取电磁驱动的谐振式 MEMS 微镜。MEMS 激光雷达探测原理如图所示。MEMS振镜可以在二维方向上同时振动，而当一个质点同时参与两个互相垂直的简谐振动，并且它们的频率比是整数比时，扫 描轨迹稳定并且扫描线闭合，称为李萨如图形（Lissajou pattern）。一维MEMS扫描镜是采用 MEMS 静电驱动原理，体积小。

一维MEMS扫描镜简介：一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维空间的精确扫描；用户可根据实际应用的光学系统需求，选择合适的反射镜面尺寸及性能参数；镜面表面以金或铝为标准镀膜材料，为不同工作波长光束提供高反射率；若采用两颗一维MEMS扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描，可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率MEMS扫描微镜的特点有很多。浙江电子MEMS扫描镜

二维MEMS扫描微镜主要应用领域包括汽车激光雷达(LiDAR)等3D扫描应用。浙江电子MEMS扫描镜

MEMS扫描镜特性：MEMS扫描镜具有可靠性，MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有优良的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。浙江电子MEMS扫描镜

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