智能机器人MEMS扫描微镜加工

MEMS器件可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。MEMS器件在工业、信息和通信、**、航空航天、航海、医疗和物生工程、农业、环境和家庭服务等领域有着潜在的巨大应用前景。目前，MEMS器件的应用领域中领头的有：汽车、医疗和环境；正在增长的有：通信、机构工程和过程自动化；还在萌芽的有：家用/安全、化学/配药和食品加工。二十一世纪MEMS器件将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、科学发展产生重大影响。静电驱动MEMS扫描微镜是抓刮结构SDA驱动的MEMS微镜。智能机器人MEMS扫描微镜加工

MEMS扫描镜：MEMS扫描镜的驱动技术即静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动，其中前两种技术比较成熟，应用也更普遍。静电驱动MEMS扫描镜（如图7）采用单晶硅制造，工艺简单、成熟，芯片尺寸小，驱动功耗极低，封装也比较简单，属电压驱动型器件。静电驱动MEMS扫描镜由于器件工作于谐振状态，可以实现大角度的扫描，但驱动电压会比较高。由于电磁驱动的力密度大，电磁驱动MEMS扫描镜也获得普遍的应用，其扫描角度大，可以实现线性扫描。电磁驱动器件工艺涉及数十微米厚度的电磁线圈的制造，封装需要配置永磁铁，器件模块尺寸稍大些。该器件属电流驱动型器件，驱动电流达数十毫安，驱动功耗较高。器件既可工作于谐振状态，也可以工作于非谐振状态，当工作与谐振状态时，驱动功耗可以大幅度降低。扭转MEMS扫描微镜生产厂家一维MEMS扫描镜可以抗冲击、抗振动。

一维MEMS扫描镜的使用：一维MEMS扫描镜要到正规的厂家进行购买，微视传感基于MEMS微镜3D视觉解决方案正助力机器视觉产业的蓬勃发展，其方案普遍应用于3D建模、智能安防、智能机器人、AGV、无人驾驶、汽车HUD等新兴行业。一维MEMS扫描镜设计上采用高速共振模式，以达到大光学扫描角的性能，可实现光束。一维空间的精确扫描；用户可根据实际应用的光学系统需求，选择合适的反射镜面尺寸及性能参数；镜面表面以金或铝为标准镀膜材料，为不同工作波长光束提供高反射率；若采用两颗一维MEMS扫描镜组合即可实现光束在二维空间的精确扫描，可实现高性能要求应用的开发。一维MEMS扫描镜(直径1.4mm)采用半导体硅工艺制造,低功耗静电驱动,以高速谱振模式,可实现大的光学扫描角度和高扫描频率,镜面表面以金为标准镀膜材料,可为红外波长光束提供高反射率,目前已经量产,可大批量交付客户,亦可大规模制造中采用铝为镜面材料,实现其他波段的高反射率。

MEMS扫描微镜的应用：MEMS二维扫描微镜利用微加工技术，批量制备高性能光学扫描微镜，可以实现对激光束和激光脉冲的精密扫描定位和操控。利用MEMS二维扫描微镜，以及半导体激光器的光强调制技术，可以实现全高清的微型激光投影仪，满足移动大屏显示的需求。利用MEMS二维扫描微镜结合红外激光器的调制，可以实现红外结构光的发射，满足3D相机对结构光投影的性价比的要求。利用大镜面的MEMS二维扫描微镜，可以实现固态激光雷达的小型化、低成本和可批量生产，满足自动驾驶对激光雷达的要求。MEMS扫描微镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点。

MEMS扫描镜的发展趋势：从MEMS扫描镜的轴数看，双轴扫描镜是技术发展趋势，这样能大幅度降低封装成本。从MEMS扫描镜的扫描角度精度看，发展趋势是扫描镜集成制造角度传感器，采用闭环控制方法实现对扫描微镜的精确控制。从MEMS扫描镜的驱动方式看，由于压电驱动具有更高的力密度，压电驱动MEMS扫描镜将可能成为技术新方向。MEMS扫描镜具有高分辨率，高可靠性、低成本，小尺寸、易集成等优点，在机器视觉、主动避障以及自动驾驶方面有着普遍应用。扫描镜具有的特点是比较多的。无人驾驶MEMS器件好不好

MEMS扫描微镜的优势有：无需接触的环境分析，超高分辨率，超紧凑的尺寸。智能机器人MEMS扫描微镜加工

MEMS扫描镜特性：MEMS扫描镜具有可靠性，MEMS扫描镜全部由单晶硅制成，也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件，例如，金属、聚合物、压电材料等。使其拥有优良的重复性和可靠性。采用无万向节设计，使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。静电驱动的MEMS扫描微振镜两个轴的偏转角度可达到32°，在满振幅运转功耗只为几毫瓦。目前静电驱动的微振镜可提供的一维和二维的MEMS扫描镜，可提供直径从0.8mm到5mm微型振镜。智能机器人MEMS扫描微镜加工

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