电子MEMS扫描镜

MEMS器件的优势：经济利益：1.大批量的并行制造过程；2.系统级集成；3.封装集成；4.与IC工艺兼容。技术利益：1.高精度；2.重量轻，尺寸小；3.高效能。MEMS器件的应用领域：1.在喷墨打印机里作为压电元件，2.在汽车里作为加速规来控制碰撞时安全气囊防护系统的施用；3.在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜，控制动态稳定控制系统；4.在轮胎里作为压力传感器，在医学上测量血压；5.数字微镜芯片；6.在计算机网络中充当光交换系统，这是一个与智能灰尘技术的融合；7.设计微机电系统重要的工具是有限元分析。静电驱动的MEMS扫描微镜两个轴的偏转角度可达到32°,在满振幅运转功耗只为几毫瓦。电子MEMS扫描镜

MEMS扫描微镜为了得到较大的驱动力矩使得振镜扭转较大角度，同时尽可能地降低功耗，通常使用电磁驱动或压电驱动来驱动大尺寸振镜.其中，压电驱动虽然能够产生比较大的驱动力，但由于其难以与MEMS工艺相结合，并且驱动产生的位移较小，故器件中采用了更加灵活和高效的电磁驱动方式.电磁驱动方式根据其结构的不同，通常有两种驱动形式：一种为电磁铁型，将表面附有铁钴镍等导磁性能良好金属的微扫描镜放置在按照一定频率变化的交变磁场中，利用交变磁场与金属相互作用产生磁力驱动微描镜扭转；另一种为双极子型，需要在微扫描镜上沉积磁材料，利用磁材料在交变电场下产生的作用力，驱动微扫描镜扭转。广州准静态式MEMS扫描微镜制造MEMS器件中的MEMS是微机电系统。

MEMS微镜也已经应用于汽车其他领域，例如DLP方案的HUD和前照灯系统，且已经通过了车规级的NVH测试。（InnovizOne在功能安全性上取得了ASIL-B传感器级别和ASIL-D系统级别的认证）。MEMS微镜的运动会产生噪声，从而限制了激光雷达的FoV和二维扫描据称，温度问题尚待解决。MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动，这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步，它无需使用电机，且限制了会引起摩擦的机械部件。从理论上讲，降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。

MEMS微镜的运动方式：扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点，微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜在激光投影、激光成像、激光加工、激光传感等应用具有普遍的需求，是激光应用必不可少的关键激光元器件，较近成为关注的热点。MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的。

MEMS器件发展前景广阔，可应用于机械的高级维护系统、微型工厂、人体管腔诊断和检查系统等需要微型、微细机械的场合。利用MEMS技术可制成突破通信瓶颈的全光交换机、准确检测病变的基因芯片、比手掌还小的飞行器、重量只有几十克的微小卫星等。事实上，MEMS是一项极具前途的两用技术。在过去十多年中, MEMS技术已经应用于安全气囊传感器（加速计）、压力传感器、显示器、自适应光器件、数字微镜器件、扫描仪、血压测量传感器、图象传感器、硬盘驱动器中的加速度传感器、蜂窝电话中应用的微继电器、电视中应用的微型透镜、喷墨打印头以及数据存储器等。在通信方面，光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展， 无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗, MEMS技术在这些方面有很大的优势。二维MEMS扫描微镜的镜面直径通常为数毫米。微型MEMS器件哪里有

一维MEMS扫描镜可以抗冲击、抗振动。电子MEMS扫描镜

MEMS器件可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务，也可嵌入大尺寸系统中，把自动化、智能化和可靠性水平提高到一个新的水平。MEMS器件在工业、信息和通信、**、航空航天、航海、医疗和物生工程、农业、环境和家庭服务等领域有着潜在的巨大应用前景。目前，MEMS器件的应用领域中领头的有：汽车、医疗和环境；正在增长的有：通信、机构工程和过程自动化；还在萌芽的有：家用/安全、化学/配药和食品加工。二十一世纪MEMS器件将逐步从实验室走向实用化，对工农业、信息、环境、生物工程、医疗、空间技术、科学发展产生重大影响。电子MEMS扫描镜

无锡微视传感科技有限公司是一家公司聚焦MEMS芯片以及3D成像领域，为客户提供MEMS微 镜芯片、结构光投射模组、3D相机以及3D方案。MEMS扫描微镜系列化芯片、MEMS稳态微镜系列化光通讯芯片、MEMS红外测温芯片与模块以及纳米压印模板的公司，致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。公司自创立以来，投身于一维MEMS扫描微镜，二维MEMS扫描微镜，3D编码结构光投射模组，3D结构光深度相机，是电子元器件的主力军。无锡微视传感科技继续坚定不移地走高质量发展道路，既要实现基本面稳定增长，又要聚焦关键领域，实现转型再突破。无锡微视传感科技创始人徐乃涛，始终关注客户，创新科技，竭诚为客户提供良好的服务。