南京激光扫描MEMS扫描微镜

MEMS微镜的应用领域：MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜是激光应用必不可少的关键激光元器件，应用领域已渗透到消费电子、医疗、**、通讯等。这其中有已经量产的应用，还有许多概念性的应用。主要应用领域有三个方面：激光扫描、光通讯、数字显示。与机械式相比，MEMS的优势有很多。南京激光扫描MEMS扫描微镜

MEMS扫描微镜是比较耐用的，为了实现全新的创新型汽车照明技术，这项激光新技术的工作原理：一款波长约450nm的蓝光激光二极管，将激光照射到快速运动的MEMS微镜上，这款直径在毫米范围的MEMS微镜由Bosch开发。这款微镜由硅制成，是一款具有机电控制功能的微型光学系统，它非常坚固，能够确保长期使用的耐久性。该MEMS微镜负责将激光反射至荧光体，荧光体中包含嵌入矩阵的转换和散射颗粒。进而产生的混合散射蓝光和转换光通过调制获得白色光。凭借协同整合的MEMS微镜倾斜运动和激光器功率控制，可以在荧光体上产生任何想要的模式光，然后像幻灯片一样投射在路面上。而投射光模式可以根据高性能驾驶辅助传感器获得的信息进行调制，如摄像头、激光雷达（LiDAR）、雷达等传感器会将相关行车信息融合发送至车辆ECU，经过计算获得自适应的智能光束。智能机器人MEMS扫描微镜厂商微镜具有的优点：低的制造成本。

用于光通讯交换的MEMS器件：对于光通讯而言，发展全光交换系统一直就是业界孜孜不倦所追求的目标。而MEMS技术则被普遍认为是目前能够被用来实现全光交换较有希望的技术手段。基于MEMS技术的全光交换原理并不复杂。MEMS技术被用来在硅晶上刻出微小的反射镜，这些微小的反射镜被排成一个二维的阵列。每一个反射镜都有一个活动的微镜架以及可以被电信号驱动的微铰链。处于正常状态的微反射镜平躺着，电压信号加上后，微反射镜立起来，可以将入射光信号反射到垂直的方向上去。一个n x n的二维反射阵列可以用来控制n束信号光之间的全交换。

MEMS器件在光通讯产业中的应用：现代MEMS的工艺技术和硅芯片的工艺技术同源而出，都是在硅晶体上做文章。很多MEMS的生产线其前身就是硅芯片的工艺生产线。MEMS工艺技术的基本精神是在硅晶体上刻出微观结构，比如微镜架等。和芯片工艺相比，MEMS工艺不单单对于传统平面二维光刻技术提出了更高的要求，针对不同的结构和设计需要，更发展出了独特的三维刻蚀，镂空等技术手段。MEMS技术被应用于光通讯传输。MEMS器件的共振腔的腔长由一个MEMS装置来控制，通过改变腔长来达到调节和改变光波长的目的。随着光纤传输速率的提高，光纤的非线性效应，色散效应越来越不容忽视。对于不同波长，光纤放大器的增益会有所不同。MEMS技术可以用来设计补偿和平衡的元器件，平衡增益，补偿位相。　MEMS扫描微镜可以进行双轴扫描。

MEMS微镜也已经应用于汽车其他领域，例如DLP方案的HUD和前照灯系统，且已经通过了车规级的NVH测试。（InnovizOne在功能安全性上取得了ASIL-B传感器级别和ASIL-D系统级别的认证）。MEMS微镜的运动会产生噪声，从而限制了激光雷达的FoV和二维扫描据称，温度问题尚待解决。MEMS微镜扫描方法使用洛伦兹力磁体来控制1cm²微镜设备的运动，这是朝着小尺寸传感器模块迈出的一步，它无需使用电机，且限制了会引起摩擦的机械部件。从理论上讲，降低了那些可能影响传感器模块可靠性和使用寿命的因素。MEMS扫描微镜的安装简单。扭转MEMS扫描镜工艺制造

MEMS扫描微镜的特点有很多。南京激光扫描MEMS扫描微镜

MEMS扫描镜可以使用到的领域是比较多的，扫描镜已成为MEMS业界关注的焦点，微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。对于扭转MEMS微镜，当其光学偏转角度较大（达到10°以上），主要功能是实现激光的指向偏转、图形化扫描、图像扫描时，可被称为“MEMS扫描镜”，以区别于较小偏转角度的扭转MEMS微镜。MEMS扫描镜在激光投影、激光成像、激光加工、激光传感等应用具有普遍的需求，是激光应用必不可少的关键激光元器件，较近成为关注的热点。南京激光扫描MEMS扫描微镜

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