江西光刻机工业网关

设备物联实现数据采集、远程控制、智能决策、设备预警及设备预测性养护，减少非计划性停机。基于物联网数据，利用时域波形、频谱、倒频谱等多个组合算法，实现对设备多方位的体检，将设备故障发现在早期，减少设备非计划性停机。利用机理模型平台，创建基于品质、设备、安全等各个维度的监测模型，在故障发生前期实现预警，用小维护代替停机检修。实现设备多方位监测，在设备发生预警时，支持预警数据溯源，结合设备周期内数据分析，针对性制定设备保全计划，提升设备利用率。结合设备数据、传感器数据实现自动触发设备动作，降低安全风险及企业成本。江西光刻机工业网关

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