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    以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器；和分别位于二级精馏塔塔内、纯氪塔塔内、粗氙塔塔内、纯氙塔塔内，以不同比例低温氮气与常温氮气混合后得到的较低温气体为冷源的第二冷凝蒸发器、第三冷凝蒸发器、第四冷凝蒸发器、第五冷凝蒸发器；以及用于汇总从各冷凝蒸发器出来的氮气并复热的主换热器；其中，所述一级精馏塔与所述二级精馏塔连接；所述二级精馏塔分别与所述纯氪塔和所述粗氙塔连接；所述粗氙塔与所述纯氙塔连接；所述分馏塔与所述主换热器连接。推荐地，还包括：用于接受复热后的氮气并增压的循环压缩机；其中，所述循环压缩机分别与所述分馏塔和所述主换热器连接。本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：本发明的氪氙精制中降低液氮使用量的装置，包括循环压缩机、分馏塔、主换热器、一级精馏塔、二级精馏塔、纯氪塔、粗氙塔、纯氙塔、***冷凝蒸发器、第二冷凝蒸发器、第三冷凝蒸发器、第四冷凝蒸发器、第五冷凝蒸发器。其中主换热器中部会抽出较高温氮气作为调温的热流，回收了液氮的冷量，实现氪氙精制的液氮消耗量大幅度降低。附图说明图1是本发明的氪氙精制中降低液氮使用量的装置的示意图；其中。工业气体氖与氩、氦和汞蒸气混合可用于充填磷光管。云南普氖气哪家好

    来自不可冷凝物汽提塔310、410的所有液氮塔底馏出物312、412提供液氮回流流318、418，该液氮回流流因来自空气分离单元10的废氮流93而在过冷器单元99中过冷。如上所述，经过冷液氮回流流的部分可任选地被看作液氮产物317、417，作为物流348、448转移到液氮回流冷凝器342、442或在阀319、419中膨胀，并且作为回流流360、460返回到空气分离单元10的低压塔74中。类似于图2的氖气质量改善装置，图4和图5的氖气质量改善装置340、440包括液氮回流冷凝器342、442；相分离器344、444。以及氮气流量控制阀346、446。液氮回流冷凝器342、442用第二冷凝介质348、448将含不可冷凝物排放流329、429冷凝，该第二冷凝介质是经过冷液氮回流流的一部分。将汽化流349、449从氖气回收系统100中移除并进料至废物流93中。在液氮回流冷凝器342、442内不冷凝的残余蒸气被作为粗氖蒸气流350、450从液氮回流冷凝器342、442的顶部抽出。现在转到图7和图8，示出了不可冷凝气体回收系统100的附加实施方案，该系统包括不可冷凝物汽提塔(nsc)510、610和冷凝器-再沸器520、620。图7和图8所示的不可冷凝物汽提塔510、610被构造成接收来自高压塔72的氮气盘架蒸气515、615的一部分。西藏纯氖多少立方氖气通电后会发出橙色的光，在所有稀有气体中，氖气的放电在相同的电压和电流下是比较强烈的。

    或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的单元。在图7和图8的实施方案中，冷凝器-再沸器520、620是双级冷凝器-再沸器，该双级冷凝器-再沸器提供双级别致冷以将来自不可冷凝物汽提塔510、610的大部分塔顶馏出蒸气529、629部分冷凝。图7所示的回流冷凝器-再沸器520被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔510的包含氖气和其他不可冷凝物的塔顶馏出气体529、包括从空气分离单元10的氮气过冷器转移来的釜沸腾流的冷凝介质522、以及包括经由经过冷液氮回流流的阀546的节流部分的第二冷凝介质548。该双级回流冷凝器-再沸器520被构造成产生作为回流返回到不可冷凝物汽提塔510的液氮冷凝物流545、被引导至空气分离单元10的氩冷凝器78的双相汽化流525、以及被从冷凝器-再沸器520的顶部抽出并且包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流550。该粗氖蒸气流还可包含大于约10％摩尔份数的氦气。将汽化流549从相分离器544中移除并进料至废物流93中。与其他上述实施方案一样，例示的不可冷凝气体回收系统的总体氖气回收率高于95％。所描绘的不可冷凝气体回收系统的附加有益效果是液氮消耗低，并且由于大量液氮被再循环回到低压塔。

    本发明涉及一种气体分离的方法，尤其涉及一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法和装置。背景技术：大气中的氪和氙含量分别约为×10-6和×10-6，微量氪和氙随空气进入空气分离装置的低温精馏塔后，高沸点组分氪、氙、碳氢化合物(主要是甲烷)以及氟化物均积聚在低压塔的液氧内，将低压塔的液氧送入一个氪附加精馏塔(俗称贫氪塔)。可获得氪氙含量为～％kr+xe的贫氪氙浓缩物，其中甲烷含量约为～％。氧气中甲烷含量过高(一般不超过％ch4)是极其危险的，只有预先脱除掉贫氪氙浓缩物中的甲烷后，才有可能继续提高液氧中的氪氙浓度，在已知的方法中，首先将贫氪氙浓缩物加压到临界压力，再减压到。甲烷纯化装置是通过钯催化剂，在480～500℃的温度下，氧与甲烷进行化学反应后甲烷被脱除(残余甲烷含量可低于1×10-6)，然后用分子筛吸附脱除化学反应生成物——二氧化碳和水。去除甲烷后的原料气进入精馏塔后得到氪氙混合物。一般的精制设备利用此氪氙混合物作为原料，以氮气和液氮的混合气为冷源，通过增设多级精馏的形式分离氪气、氙气，并进一步提纯氪气氙气。精制设备所使用的的氮气直接进冷箱，没有预冷过程，对应使用的液氮量较大。因此，本领域的技术人员致力于开发氪氙精制方法。在高电压下，氖气可被激发为氖的等离子体状态，发出红色橙色的荧光。

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。装有氖的钢瓶配有卸压装置，它是一块易 碎膜片或是一块由熔点约100 ℃(212 F)的易熔金属作背衬的易碎膜片。广西普通氖气体

氖的三相点温度只比它的标准沸点低约2.5K。云南普氖气哪家好

    主进料空气压缩机组、任选的涡轮空气回路和增压器空气回路共同包括“热端”空气压缩回路。类似地，主换热器或初级换热器、基于涡轮的致冷回路的部分和蒸馏塔系统的部分被称为通常容纳在一个或多个绝缘冷箱中的“冷端”系统/设备。热端空气压缩回路在图1、图3和图6所示的主进料压缩机组中，进入的进料空气22通常被抽吸穿过吸气过滤器外壳(asfh)并且在多级中间冷却的主空气压缩机布置24中被压缩至可介于约5巴(a)至约15巴(a)之间的压力。该主空气压缩机布置24可包括串联或并联布置的整体齿轮式压缩机级或直接驱动压缩机级。离开主空气压缩机布置24的经压缩空气26被进料至具有一体式除雾器的后冷却器或(未示出)，以移除进入的进料空气流中的游离水分。通过用冷却塔水冷却经压缩进料空气，在后冷却器中将来自主空气压缩机布置24的压缩级的压缩的压缩热移除。来自该后冷却器以及主空气压缩布置24中的一些中间冷却器的冷凝物输送到冷凝物罐，并且用于向空气分离设备的其他部分供应水。然后将冷却且干燥的经压缩空气进料26在预纯化单元28中纯化以从该冷却的干的经压缩空气进料中移除高沸点污染物。如本领域所熟知。云南普氖气哪家好