德国微纳光刻Nanoscribe工艺

基于双光子聚合（2PP）原理的双光子灰度光刻（2GL®）是Nanoscribe技术，具备体素动态控制能力。在扫描激光焦点横跨扫描平面时，调制曝光剂量会改变光敏树脂内的体素大小，从而实现对聚合体素尺寸的精细可控变化。这是激光功率调制和高速振镜扫描与精确的横向载物台运动同步的结果。为此，将灰度图像转换为曝光级别的空间变化，从而在一个平面上打印不同的体素高度。 2GL有什么优势？ 双光子灰度光刻 技术（2GL®）使用激光束调制和高速振镜的高频同步进行单体素调节，从而实现光学质量表面结构。通过高精度定位单元和自校准程序，可在拼接相邻打印区域时以出色准确性进行打印，以制造大型结构。2GL动态调整打印场边界处的激光剂量，以补偿光敏聚合物的化学诱导收缩和定位缺陷。通过这种功能组合，可以在几平方厘米的区域内打印出真正的无缝结构，消除所有拼接痕迹。科学家们使用德国Nanoscribe 的3D打印设备制造了复杂的微孔膜结构。德国微纳光刻Nanoscribe工艺

   全新的NanoscribeQuantumX系统适用于工业生产中所需手板和模具的定制化精细加工。该无掩模光刻系统颠覆了自由形状的微透镜、微透镜阵列和多级衍射光学元件的传统制作工艺。全球头一个双光子灰度光刻(2GL®)系统将具有出色性能的灰度光刻与Nanoscribe精确灵动的双光子聚合技术结合起来。QuantumX提供了完全的设计自由度、高速的打印效率、以及增材制造复杂结构超光滑表面所需的高精度。快速、准确的增材制造工艺极大地缩短了设计迭代周期，实现了低成本的微纳加工。凭借着独有的产品优势Nanoscribe新发布的QuantumX在2019慕尼黑光博会展（LASERWorldofPhotonics2019）荣获创新奖。

德国微纳光刻Nanoscribe工艺高效能能源器件，咨询纳糯三维科技（上海）有限公司。

Nanoscribe双光子聚合技术所具有的高设计自由度，可以在各种预先构图的基板上实现波导和混合折射衍射光学器件等3D微纳加工制作。结合Nanoscribe公司的高精度定位系统，可以按设计需要精确地集成复杂的微纳结构。由Nanoscribe研发的IP系列光刻胶是用于特别高分辨率微纳3D打印的标准材料。所打印的亚微米级别分辨率器件具有特别高的形状精度，属于目前市场上易于操作的“负胶”。IP树脂作为高效的打印材料，是Nanoscribe微纳加工解决方案的基本组成部分之一。我们提供针对优化不同光刻胶和应用领域的高级配套软件，从而简化3D打印工作流程并加快科研和工业领域的设计迭代周期，包括仿生表面，微光学元件，机械超材料和3D细胞支架等。   

Nanoscribe作为一家纳米，微米和中尺度高精度结构增材制造，一直致力于开发和生产3D 微纳加工系统和无掩模光刻系统，以及自研发的打印材料和特定应用不同解决方案。Nanoscribe成立于 2007 年，是卡尔斯鲁厄理工学院 (KIT) 的衍生公司。在全球前列大学和创新科技企业的中，有超过2,500 多名用户在使用我们突破性的 3D 微纳加工技术和定制应用解决方案。 Nanoscribe 凭借其过硬的技术背景和市场敏锐度奠定了其市场优于主导地位，并以高标准来要求自己以满足客户的需求。

Nanoscribe Photonic Professional GT2使用双光子聚合(2PP)来产生几乎任何3D形状。

Nanoscribe的Photonic Professional GT2双光子无掩模光刻系统的设计多功能性配合打印材料的多方面选择性，可以实现微机械元件的制作，例如用光敏聚合物，纳米颗粒复合物，或水凝胶打印的远程操控可移动微型机器人，并可以选择添加金属涂层。此外，微纳米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微机电系统（MEMS）。双光子灰度光刻技术可以一步实现真正具有出色形状精度的多级衍射光学元件（DOE），并且满足DOE纳米结构表面的横向和纵向分辨率达到亚微米量级。由于需要多次光刻，刻蚀和对准工艺，衍射光学元件（DOE）的传统制造耗时长且成本高。 纳糯三维科技（上海）有限公司作为德国Nanoscribe在中国的独有的子公司加强了在中国的销售活动。海南德国Nanoscribe子公司

Nanoscribe公司双光子聚合（2PP）技术结合增材制造可以实现超越二维微流体平面的三维结构几何形状的制作。德国微纳光刻Nanoscribe工艺

光学元件如何对准并打印到光子芯片上？打印对象的 3D 对准技术是基于具有高分辨率 3D 拓扑绘制的共聚焦单元。 为了精确对准光子芯片上的光学元件，智能软件算法会自动识别预定义的标记和拓扑特征，以确定芯片上波导的确切位置和方向。 然后将虚拟坐标系设置到波导的出口，使其光轴和方向完美对准。 根据该坐标系打印的光学元件可确保好的光学质量并比较大限度地减少耦合损耗。 该项技术可以利用自由空间微光耦合 (FSMOC) 实现高效的光耦合 。 详情咨询纳糯三维科技（上海）有限公司德国微纳光刻Nanoscribe工艺