深圳钙钛矿异质结CVD

异质结HJT电池生产设备，制绒清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和损伤层；2利用KOH腐蚀液对n型硅片进行各项异性腐蚀，将Si（100）晶面腐蚀为Si（111）晶面的四方椎体结构（“金字塔结构”），即在硅片表面形成绒面，可将硅片表面反射率降低至12.5%以下，从而产生更多的光生载流子；3形成洁净硅片表面，由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分，避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时，单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显，速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF)；因此改变碱溶液的浓度及温度，可以有效地改变AF，使得在不同方向上的速度不同，在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面；在制绒工序，绒面大小为主要指标，一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。 异质结电池技术升级让光伏行业规模持续扩大，设备国产化，成本继续降低，使HJT技术将更具有竞争力。深圳钙钛矿异质结CVD

异质结硅太阳能电池的工艺要求与同质结晶体硅太阳能电池相比，有几个优点：与同质结形成相比，异质结形成期间的热预算减少。a-Si:H层和TCO前接触的沉积温度通常低于250℃。与传统的晶体硅太阳能电池相比，异质结的形成和沉积接触层所需的时间也更短。由于异质结硅太阳能电池的低加工温度及其对称结构，晶圆弯曲被抑制。外延生长：在晶体硅和a-Si:H钝化层之间没有尖锐的界面，而外延生长的结果是混合相的界面区域，界面缺陷态的密度增加。在a-Si:H的沉积过程中，外延生长导致异质结太阳能电池的性能恶化，特别是影响了Voc。事实证明，在a-Si:H的沉积过程中，高沉积温度（>140℃）会导致外延生长。其他沉积条件，如功率和衬底表面的性质，也对外延生长有影响，通过使用a-SiO:H合金而不是a-Si:H，可以有效抑制外延生长。HJT的清洗特点:在制绒和清洗之后的圆滑处理导致了表面均匀性的改善，减少了微观粗糙度，并提高了整个装置的性能。此外，氢气后处理被发现有利于提高a-Si:H薄膜的质量和表面钝化。CVD对比：HWCVD比PECVD有几个优点。例如，硅烷的热解避免了表面的离子轰击，而且产生的原子氢可以使表面钝化。南京专业异质结设备供应商釜川高效异质结电池湿法金属化设备采用无银或低银工艺。

太阳能异质结是一种新型的太阳能电池技术，与传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池相比，具有以下优势：1.高效率：太阳能异质结电池的转换效率可以达到22%以上，比传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池高出很多。2.薄型化：太阳能异质结电池可以采用非晶硅材料制造，因此可以制造出非常薄的电池，适用于一些需要轻便、柔性的应用场景。3.稳定性：太阳能异质结电池的稳定性比传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池更好，可以在高温、低光等环境下保持较高的转换效率。4.成本：太阳能异质结电池的制造成本相对较低，因为它可以采用较简单的制造工艺，而且材料成本也比传统的硅晶体太阳能电池和薄膜太阳能电池低。总的来说，太阳能异质结电池是一种非常有前途的太阳能电池技术，具有高效率、薄型化、稳定性和低成本等优势，可以广泛应用于太阳能发电、光伏建筑等领域。

光伏异质结电池整线装备，产业机遇：方向清晰：HJT技术工艺流程短、功率衰减低、输出功率稳定、双面发电增益高、未来主流技术方向；时间明确：HJT平均量产效率已超过PERC瓶颈（25%），行业对HJT电池投入持续加大，电池商业化已逐渐成熟；机遇可期：设备与耗材是HJT规模化的关键，降本增效是不变的主题，具备HJT整线整合能力的供应商优势明显。当前HJT生产成本约：硅片占比约50%，银浆占比约25%，靶材约6%左右；当前HJT设备成本约：清洗制绒设备、PECVD设备、PVD设备、丝网印刷，设备投资额占比分别约10%、50%、25%和15%。高效异质结电池PECVD设备是制备微晶硅的中心设备，其工艺机理复杂，影响因素众多，需要专业公司制备。

光伏异质结电池生产设备，异质结TCO的作用：在形成a-Si:H/c-Si异质结后，电池被用一个~80纳米的透明导电氧化物接触。~80纳米薄的透明导电氧化物（TCO）层和前面的金属网格。透明导电氧化物通常是掺有Sn的InO（ITO）或掺有Al的ZnO。通常，TCO也被用来在电池的背面形成一个介电镜。因此，为了理解和优化整个a-Si:H/c-Si太阳能电池，还必须考虑TCO对电池光电性能的影响。由于其高掺杂度，TCO的电子行为就像一个电荷载流子迁移率相当低的金属，而TCO/a-Si:H结的电子行为通常被假定为类似于金属-半导体结。  TCO的功函数对TCO/a-Si:H/c-Si结构中的带状排列以及电荷载流子在异质结上的传输起着重要作用。此外，TCO在大约10纳米薄的a-Si:H上的沉积通常采用溅射工艺；在此，应该考虑到在该溅射工艺中损坏脆弱的a-Si:H/c-Si界面的可能性，并且在工艺优化中必须考虑到。光伏异质结的结构简单，由非晶硅层和晶体硅层组成，具有制造工艺简单、快速和低成本的优势。杭州国产异质结薄膜

光伏异质结电池PVD设备连续完成正背面TCO镀膜，产能高。深圳钙钛矿异质结CVD

高效异质结电池整线装备，物理的气相沉积，PVD优点沉积速度快、基材温升低；所获得的薄膜纯度高、致密性好、成膜均匀性好；溅射工艺可重复性好，精确控制厚度；膜层粒子的散射能力强，绕镀性好；不同的金属、合金、氧化物能够进行混合，同时溅射于基材上；缺点：常规平面磁控溅射技术靶材利用率不高，一般低于40％；在辉光放电中进行，金属离化率较低。反应等离子体沉，RPD优点：对衬底的轰击损伤小；镀层附着性能好，膜层不易脱落；源材料利用率高，沉积速率高；易于化合物膜层的形成，增加活性；镀膜所使用的基体材料和膜材范围广。缺点：薄膜中的缺陷密度较高，薄膜与基片的过渡区较宽，应用中受到限制（特别是电子器件和IC）；薄膜中含有气体量较高。深圳钙钛矿异质结CVD