新型光谱共焦常用解决方案

主要是对光谱共焦传感器的校准后的误差进行分析。各自利用干涉仪与高精密测长机对光谱共焦传感器开展测量，用曲面测针确保光谱共焦传感器的激光光路坐落于测针，以确保光谱共焦传感器在测量时安装精密度，随后拆换平面图歪头，对光谱共焦传感器开展校准。用小二乘法对测量数据进行解决，获得测量数据库的离散系统误差。结果显示：高精密测长机校准后的离散系统误差为 0.030%，激光器于涉仪校准时的分析线形误差为0.038%。利用小二乘法开展数据处理方法及离散系统误差的计算，减少校准时产生的平行度误差及光谱共焦传感器的系统误差，提高对光谱共焦传感器的校准精密度。连续光谱位置测量方法可以实现光谱的位置测量。新型光谱共焦常用解决方案

光谱共焦是一种综合了光学成像和光谱分析技术的高精度位移传感器，在3C（计算机、通信和消费电子）电子行业中应用极为大量。光谱共焦传感器可以用于智能手机内线性马达的位移测量，通过实时监控和控制线性马达的位移，可大幅提高智能手机的定位功能和相机的成像精度。也能测量手机屏的曲面角度、厚度等。平板电脑内各种移动结构部件的位移和振动检测是平板电脑生产过程中非常重要的环节。光谱共焦传感器可以通过对平板电脑内的各种移动机构、控制元件进行精密位移、振动、形变和应力等参数的测量，从而实现对其制造精度和运行状态的实时监控。高频光谱共焦产品原理光谱共焦技术可以实现对样品的光学参数进行测量和分析。

在实践中，光谱共焦位移传感器可用于很多方面，如：利用独特的光谱共焦测量原理，凭借一只探头就可以实现对玻璃等透明材料进行精确的单向厚度测量。光谱共焦位移传感器有效监控药剂盘以及铝塑泡罩包装的填充量。可以使传感器完成对被测表面的精确扫描，实现纳米级的分辨率。光谱共焦传感器可以单向对试剂瓶的壁厚进行测量:,而且对瓶壁没有压力。可通过设计转向反射镜实现孔壁的结构检测及凹槽深度的测盘。（创视智能已推出了90°侧向出光版本探头，可以直接进行深孔和凹槽的测量）光谱共焦传感器用于层和玻璃间隙测且，以确定单层玻璃之间的间隙厚度。

采用对比测试方法，首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核，图5(a)是靶丸外表面轮廓的原子力显微镜轮廓仪和白光共焦光谱轮廓仪的测量曲线。为了便于比较，将原子力显微镜轮廓仪的测量数据进行了偏移。从图中可以看出，二者的低阶轮廓整体相似，局部的轮廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精确测量圆周轮廓结果不一致;此外，白光共焦光谱的信噪比较原子力低，这表明白光共焦光谱适用于靶丸表面低阶的轮廓误差的测量。图5(b)是靶丸外表面轮廓原子力显微镜轮廓仪测量数据和白光共焦光谱轮廓仪测量数据的功率谱曲线，从图中可以看出，在模数低于100的功率谱范围内，两种方法的测量结果一致性较好，当模数大于100时，白光共焦光谱的测量数据大于原子力显微镜的测量数据，这也反应了白光共焦光谱仪在高频段测量数据信噪比相对较差的特点。由于光谱传感器Z向分辨率比原子力低一个量级，同时，受环境振动、光谱仪采样率及样品表面散射光等因素的影响，共焦光谱检测数据高频随机噪声可达100nm左右。光谱共焦技术可以在工业生产中发挥重要作用。

玻璃基板是液晶显示屏必不可少的零部件之一，一张液晶显示屏要用二张玻璃基板，各自做为底层玻璃基板和彩色滤底版应用。玻璃基板的品质对控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、净重、可视角度等数据都是有关键危害。玻璃基板是组成液晶显示屏元器件一个基本上构件。这是一种表层极为平坦的方法生产制造薄玻璃镜片。现阶段在商业上运用的玻璃基板，其厚度为0.7 mm及0.5m m，且将要迈进特薄（如0.4mm）厚度之制造。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因为玻璃基板厚度很薄，而厚度规格监管又比较严格，一般在0.01mm的公差，关键清晰地测量夹层玻璃厚度、涨缩和平面度。选用创视智能自主生产研发的高精度光谱共焦位移传感器可以非常好的处理这一难题，一次测量就可以完成了相对高度值、厚度系数的收集，再加上与此同时选用多个感应器测量，不仅提高了高效率，并且防止触碰测量所造成的二次损害。光谱共焦位移传感器可以实现对不同材料的位移测量，包括金属、陶瓷、塑料等。上海光谱共焦详情

光谱共焦技术在汽车制造中可以用于零件的精度检测和测量。新型光谱共焦常用解决方案

光谱共焦位移传感器原理，由光源、透镜组、控制箱等组成。光源发出1束白光，透镜组先将白光发散成一系列波长不同的单色光，然后经同轴聚焦在一定范围内形成1个连续的焦点组，每个焦点的单色光波长对应1个轴向位置。当样品处于焦点范围内时，样品表面将聚焦后的光反射回去。这些反射回来的光经过与镜头组焦距相同的聚焦镜再次聚焦后通过狭缝进入控制箱中的单色仪。因此，只有焦点位置正好处于样品表面的单色光才能聚焦在狭缝上。单色仪将该波长的光分离出来，由控制箱中的光电组件识别并 得到样品的轴向位置。采用高数值孔径的聚焦镜头可以使传感器达到较高分辨率，满足薄膜厚度分布测量要求。新型光谱共焦常用解决方案