小型光谱共焦传感器精度

时间:2024年01月27日 来源:

为了满足全天候观察的需求,设计了波段范围为可见光-短波红外宽光谱共焦光学成像系统。根据宽光谱共焦原理以及光学被动式无热化原理,设计了一个波段范围为0.4μm~2.5μm、焦距数为50 mm,F数为2.8的光学成像系统,该系统在可见光波段在奈奎斯特频率为30 lp/mm时传函值高于0.7,红外波段在奈奎斯特频率为30 lp/mm时传函值高于0.5,探测器选用为15μm×15μm、像元数为640 pixel×512 pixel碲镉汞探测器。该宽光谱共焦型光学系统均采用普通玻璃材料以及易加工的球面透镜,在温度范围-40℃~+60℃内对光学系统消热差,实现了无需调焦即可满足昼夜观察的使用需求,可广泛应用于安防监控、森林防火等领域。光谱共焦技术在医疗器械制造中可以用于医疗器械的精度检测和测量。小型光谱共焦传感器精度

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在操作高精度光谱共焦传感器时,有一些重要的注意事项需要遵守。首先,需要确保设备处于稳定的环境中,避免外部振动或干扰对传感器的影响。其次,在使用过程中要注意保持设备的清洁和维护,避免灰尘或污垢影响传感器的准确性。另外,操作人员需要严格按照设备说明书中的操作步骤进行,避免误操作导致设备损坏或数据错误。定期对设备进行校准和检测,确保其性能和准确度符合要求。通过遵守这些注意事项,可以保证高精度光谱共焦传感器的正常运行和准确性。高精度光谱共焦答疑解惑光谱共焦位移传感器可以实现对材料的表面形貌进行高精度测量,对于研究材料的表面性质具有重要意义。

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光谱共焦传感器使用复色光作为光源,可以达到微米级精度,并具备对漫反射或镜反射被测物体的测量功能。此外,光谱共焦位移传感器还可以实现对透明物体的单向厚度测量,其光源和接收光镜为同轴结构,避免光路遮挡,适用于直径4.5mm及以上的孔和凹槽的内部结构测量。在测量透明物体的位移时,由于被测物体的上下两个表面都会反射,而传感器接收到的位移信号是通过其上表面计算出来的,从而可能引起一定误差。本文通过对平行平板位移测量的误差分析,探讨了这一误差的来源和影响因素。

光谱共焦测量原理是使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面上。透镜的排列方式是通过控制色差(像差)将白光分散成单色光。每个波长都有一定的偏差(特定距离)进行工厂校准。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。通过共焦孔径反射到目标表面的光会被光谱仪检测并处理。漫反射表面和镜面反射表面都可以使用光谱共焦原理进行测量。共焦测量提供纳米级分辨率,并且几乎与目标材料分开运行。传感器的测量范围内有一个非常小的、恒定的光斑尺寸。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔内壁的表面,以及测量窄孔、小间隙和空腔。光谱共焦技术可以解决以往传感器和测量系统精度与视场不能兼容的问题。

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光谱共焦技术是一种高精度、非接触的光学测量技术,将轴向距离与波长的对应关系建立了一套编码规则。作为一种亚微米级、迅速精确测量的传感器,基于光谱共焦技术的传感器已广应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控和过程管控等工业测量领域。随着光谱共焦传感技术的不断发展,它在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量测量和其他领域的应用将会更加广。光谱共焦技术是在共焦显微术基础上发展而来,无需轴向扫描,可以直接利用波长对应轴向距离信息,大幅提高测量速度。光谱共焦技术主要来自共焦显微术,早期由美国学者Minsky提出。工厂光谱共焦找哪里

激光共焦扫描显微镜将被测物体沿光轴移动或将透镜沿光轴移动。小型光谱共焦传感器精度

光谱共焦成像技术比激光成像具有更高的精度,而且能够降低功耗和成本。但现有的光谱共焦检测设备大都是静态检测,检测效率低,而且难以胜任复杂异形表面。虽然也有些镜头可以移动的,但结构复杂、精度低,检测效率也低。一种光谱共焦检测装置,其采用光谱共为了克服现有技术的不足,本发明提供了其具体技术方案是,一种光谱共焦检测装置,包括:检测平台,用于安装被测物体;光谱共焦位移传感器,用于检测被测物体的位置或者形状。若干个直线电机位移平台,所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器。小型光谱共焦传感器精度

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