平面度测量 光谱共焦检测

光谱共焦测量技术是共焦原理和编码技术的融合。一个完整的相对高度范畴能够通过使用白光灯灯源照明灯具和光谱仪完成精确测量。光谱共焦位移传感器的精确测量原理如下图1所显示，灯源发出光经过光纤，再通过超色差镜片，超色差镜片能够聚焦在直线光轴上，产生一系列可见光聚焦点。这种可见光聚焦点是连续的，不重合的。当待测物放置检测范围内时，只有一种光波长能够聚焦在待测物表层并反射面，依据激光光路的可逆回到光谱仪，产生波峰焊。全部别的波长也将失去焦点。运用单频干涉仪的校准信息计算待测物体的部位，创建光谱峰处波长偏移的编号。该超色差镜片通过提升，具备比较大的纵向色差，用以在径向分离出来电子光学信号的光谱成份。因而，超色差镜片是传感器关键部件，其设计方案十分重要。光谱共焦位移传感器可以实现对不同材料的位移测量，包括金属、陶瓷、塑料等！平面度测量 光谱共焦检测

高像素传感器的设计取决于对焦水平和图像室内空间NA的要求。同时，在光谱共焦位移传感器中，屏幕分辨率通常采用全半宽来进行精确测量。高NA可以降低半宽，提高分辨率。因此，在设计超色差摄像镜头时，需要尽可能提高NA。高图像室内空间NA可以提高传感器系统的灯源使用率，并允许待测表面在相对大的角度或某些方向上倾斜。但是，同时提高NA也会导致球差扩大，并增加电子光学设计的优化难度。传感器的检测范围主要取决于超色差镜片的纵向色差。因为光谱仪在各个波长的像素应该是一致的，如果纵向色差与波长之间存在离散系统，这种离散系统也会对传感器的像素或灵敏度在不同波长上造成较大的差别，从而损害传感器的特性。通过使用自然散射的玻璃或者衍射光学元件(DOE)可以形成足够强的色差。然而，制造难度和成本相对较高，且在可见光范围内透射损耗也非常高。线光谱共焦常用解决方案光谱共焦技术的发展将促进相关产业的发展；

谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到广泛应用。

本次测量场景使用的是创视智能TS-C10000光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025µm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的采样速度，以及±65°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。

在电化学领域，电极片的厚度是一个重要的参数，直接影响着电化学反应的效率和稳定性，我们将介绍光谱共焦位移传感器对射测量电极片厚度的具体方法。首先，我们需要准备一块待测电极片和光谱共焦位移传感器。将电极片放置在测量平台上，并调整传感器的位置，使其与电极片表面保持垂直。接下来，通过软件控制传感器进行扫描，获取电极片表面的光谱信息。光谱共焦位移传感器可以实现纳米级的分辨率，因此可以准确地测量电极片表面的高度变化。在获取了电极片表面的光谱信息后，我们可以利用反射光谱的特性来计算电极片的厚度。通过分析反射光谱的强度和波长分布，我们可以得到电极片表面的高度信息。同时，还可以利用光谱共焦位移传感器的对射测量功能，实现对电极片厚度的精确测量。通过对射测量，可以消除传感器位置和角度带来的误差，从而提高测量的准确性和稳定性。除了利用光谱共焦位移传感器进行对射测量外，我们还可以结合图像处理技术对电极片表面的光谱信息进行进一步分析。通过图像处理算法，可以提取出电极片表面的特征信息，进而计算出电极片的厚度。这种方法不仅可以提高测量的准确性，还可以实现对电极片表面形貌的三维测量光谱共焦位移传感器通常由光源、光谱仪、探测器和信号处理器等组成。

基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量，是一种利用光谱共焦技术对手机曲面外壳轮廓进行非接触式测量的方法。该技术主要通过在光谱共焦显微镜中利用激光在手机曲面外壳上聚焦产生的共聚焦点，实现对表面高度的快速、准确测量。通过采集不同波长的反射光谱信息，结合光谱共焦技术提高空间分辨率，可以测量出手机曲面外壳上不同位置的高度值，得到完整的三维轮廓图。相比传统的机械测量和影像测量方法，基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量具有非接触、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等优势，可以适用于手机外壳、香水瓶等曲面形状复杂的产品的测量和质量控制。光谱共焦技术具有很大的市场潜力；国内光谱共焦成本价

光谱共焦位移传感器可以实现对材料的变形过程进行实时监测，对于研究材料的力学行为具有重要意义。平面度测量 光谱共焦检测

随着社会的发展，智能设备不断进化，人们对个性化的追求日益增加。复杂的形状意味着对点胶设备提出更高的精度和灵活性要求。当前在手机中板和屏幕模组贴合时，需要在中板上面点一圈透明的UV胶，由于其白色反光特性，只能使用光谱共焦传感器进行完美测量。光谱共焦传感器的复合光特性可以完美高速地测量胶水的高度和宽度。由于胶水自身特性是液体，成型特性是弧形，材料特性是透明或半透明。因此，采用光谱共焦传感器是当前解决高精度点胶需求的好方案之一，它具有非常高的分辨率和测量精度，并同时能够应对形状的复杂性和材料特性的多样性，能够满足各种行业的高精度测量要求。平面度测量 光谱共焦检测