光谱共焦测量仪

光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、快速测量方式、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到大量应用。本次测量场景使用的是创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025μm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度， 30kHz的采样速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。线性色散设计的光谱共焦测量技术是一种新型的测量方法。光谱共焦测量仪

光谱共焦测量原理是使用多透镜光学系统将多色白光聚焦到目标表面上。透镜的排列方式是通过控制色差（像差）将白光分散成单色光。每个波长都有一定的偏差（特定距离）进行工厂校准。只有精确聚焦在目标表面或材料上的波长才能用于测量。通过共焦孔径反射到目标表面的光会被光谱仪检测并处理。漫反射表面和镜面反射表面都可以使用光谱共焦原理进行测量。共焦测量提供纳米级分辨率，并且几乎与目标材料分开运行。传感器的测量范围内有一个非常小的、恒定的光斑尺寸。微型径向和轴向共焦版本可用于测量钻孔或钻孔内壁的表面，以及测量窄孔、小间隙和空腔。线阵光谱共焦主要功能与优势光谱共焦位移传感器可以实现对材料的微小变形进行精确测量，对于研究材料的性能具有重要意义；

这篇文章介绍了一种具有1毫米纵向色差的超色差摄像镜头，它具有0.4436的图像室内空间NA和0.991的线性相关系数R²，其构造达到了原始设计要求并显示出了良好的光学性能。实现线性散射需要考虑一些关键条件，并可以采用不同的优化方法来改进设计。首先，线性散射的实现需要确保摄像镜头的各种光谱成分具有相同的焦点位置，以减少色差。为了实现这个要求，需要采用精确的光学元件制造和装配，确保不同波长的光线汇聚到同一焦点。同时，特殊的透镜设计和涂层技术也可以减小纵向色差。在优化设计方面，可以采用非球面透镜或使用折射率不同的材料组合来提高图像质量。此外，改进透镜的曲率半径、增加光圈叶片数量和设计更复杂的光学系统也可以进一步提高性能。总的来说，这项研究强调了高线性纵向色差和高图像室内空间NA在超色差摄像镜头设计中的重要性。这种设计方案展示了光学工程的进步，表明光谱共焦位移传感器的商品化生产将朝着高线性纵向色差和高图像室内空间NA的方向发展，从而提供更加精确和高性能的成像设备，满足不同领域的需求。

光谱共焦位移传感器是一种基于共焦原理，采用复色光作为光源的传感器，其测量精度可达到纳米级，适用于测量物体表面漫反射或反射的情况。此外，光谱共焦位移传感器还可以用于单向厚度测量透明物体。由于其具有高精度的测量位移特性，因此对于透明物体的单向厚度测量以及高精度的位移测量都有着很好的应用前景。本文将光谱共焦位移传感器应用于位移测量中，并通过实验验证，表明其能够满足高精度的位移测量要求，这对于将整个系统小型化、产品化具有重要意义。光谱共焦技术主要来自共焦显微术，早期由美国学者Minsky提出。

硅片栅线的厚度测量方法我们还用创视智能TS-C系列光谱共焦传感器和CCS控制器，TS-C系列光谱共焦位移传感器能够实现0.025 μm的重复精度，±0.02% of F.S.的线性精度，10kHz的测量速度，以及±60°的测量角度，能够适应镜面、透明、半透明、膜层、金属粗糙面、多层玻璃等材料表面，支持485、USB、以太网、模拟量的数据传输接口。我们主要测量太阳能光伏板硅片删线的厚度，所以这次用单探头在二维运动平台上进行扫描测量。栅线测量方法：首先我们将需要扫描测量的硅片选择三个区域进行标记如图1，用光谱共焦C1200单探头单侧测量，栅线厚度是栅线高度-基底的高度差。二维运动平台扫描测量（由于栅线不是一个平整面，自身有一定的曲率，对测量区域的选择随机性影响较大）。光谱共焦位移传感器可以实现亚微米级别的位移和形变测量，具有高精度和高分辨率的特点。品牌光谱共焦厂家现货

光谱共焦技术在材料科学领域可以用于材料表面和内部的成像和分析。光谱共焦测量仪

共焦位移传感器是利用共焦原理和轴向色像差现象对测量对象的位移进行测量的光学测量装置，共焦原理是指将从形成光源的像的成像面上接收到的光以缩小光圈的方式形成为反射光，轴向色像差现象是在光源的像中发生光轴方向上的颜色漂移的现象。共焦位移传感器由作为点光源的使从光源出射的光出射的销孔、在经由销孔出射的检测光中引起轴向色像差并朝向测量对象会聚该检测光的光学构件、以及使来自测量对象的反射光光谱分散并产生受光信号的分光器构成。作为检测光，使用具有多个波长的光。在经由光学构件照射到测量对象的检测光中，销孔允许具有在聚焦于测量对象的同时被反射的波长的检测光穿过。根据轴向色像差,各波长的成像面的位置不同。因此，通过使穿过销孔的检测光的波长特定来计算测量对象的位移。光谱共焦测量仪