福建激光位移传感器制造公司

本发明涉及光学测量领域，并且特别地，涉及一种激光位移传感器；光学传感器是依据光学原理进行测量的仪器，这类传感器有许多优点，例如，能够实现非接触和非破坏性测量、测量几乎不受干扰、能够实现高速传输以及可遥测、遥控、可实时处理等优点。光学传感器包括很多类型，其中，以激光三角法为基本原理的激光位移传感器是一种利用激光为光源、将CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互补金属氧化物半导体)或者CCD(Charge-coupledDevice，电荷耦合元件)传感器作为接收器的精密测量仪器。这种传感器能够在非接触的情况下精确测量被测物体的位置、位移等变化，并且能够被应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。相比于传统的接触式传感器，激光位移传感器不会对被测物体造成任何损伤或干扰，适用于对敏感物体进行测量。福建激光位移传感器制造公司

针对相关技术中的问题，本发明提出一种激光位移传感器，能够在不影响测量精度的情况下，降低成像物镜的设计难度，同时让测量系统能够更有效地应对振动、机械变形等不良影响。根据本发明，提供了一种激光位移传感器。根据本发明的激光位移传感器包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件。其中，在对成像物镜和感光元件CN1 06855391B3进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：[0011]在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。进一步地，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS＞MTFT×10；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT＞MTFS×10。[0015]可选地，空间频率为62.5lp/mm，如果多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT＜0.05；如果多个感光单元的主要排列方向为子午方向，则MTFT≥0.5，MTFS＜0.05。江苏激光位移传感器激光技术的应用使得这种传感器具有高分辨率和高灵敏度，能够满足各种精密测量需求。

从图3所示的成像光学系统结构图可看出，在整个物面并不垂直于光轴时，经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴，与光轴存在一定的夹角β，设计的lastβ优化值取为60.4628°，此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状，此点列图表明成像光斑分布均匀，但还存在一定的剩余像差，主要为球差，光斑大小可见表2，光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm，经计算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。

系统的整体结构如图1所示。从图1可以看出，整个系统由上位机、激光位移传感器和平台运动控制系统三部分组成。激光位移传感器由激光位移控制器、感测头和监视器组成。平台运动控制系统主要由平移台运动控制器、驱动器、电源和二维电动平移台组成。系统的部分设备如图2所示。图2列出了激光位移传感器感测头和二维电动平移台。图3为激光位移传感器感测头测量对象物原理。参考距离根据被测对象物的变化可测量范围为2 mm，基准距离为30 mm，传感器显示解析度为0.3μm，线性度达到满量程的0.3％，即精度达到6μm。激光位移传感的工作原理是什么？

提高采样频率，利用前一次采样得到的结果，分析判断物体表面的反射光强，然后适时调整激光器发射的激光束的强度，以减小由于反射光强变化大而产生的测量误差。这种方法在很大限度上改进了由于饱和产生的误差,但仍然无法从根本上解决由于物体表面在激光光斑散射的小范围内的反射率不同以及由于存在表面颗粒变化导致成像光斑不对称等因素产生的测量误差。本实用新型的目的在于对现有技术存在的问题加以解决，提供一种结构合理、使用方便、可减小甚至消除路面检测过程中由于成像光斑不均匀或不对称产生的测量误差,进而有效提高位移检测精度的道路检测激光位移传感器。激光三角反射式测量原理基于简单的几何关系。福建激光位移传感器制造公司

激光位移传感器在半导体行业的应用案例。福建激光位移传感器制造公司

在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子弧矢向的情况下，成像物镜本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，成像物镜本身的MTFT＞MTFS，使得解析结果满足条件；和/或在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件，并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离使得解析结果满足条件。反光元件，反光元件设置在成像物镜的出射光路上，成像物镜的出射光经反光元件反射后，入射到感光元件。福建激光位移传感器制造公司