虹口区激光位移传感器制造厂家

时间:2024年05月31日 来源:

本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS>MTFT或MTFT>MTFS,能够利用像散,让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变窄,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变宽,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变窄),有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置,从而提高测量的准确度;由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形,将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低,也不会影响测量精度;不仅如此,由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄,而在MTF值被降低的方向上光斑变宽,所以光斑与像元之间的接触面积增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响;此外,由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜无需兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值,所以能够降低物镜的设计难度,节省制造和维护成本;高精度激光位移传感器的响应速度非常快,能够实时监测目标物体的位移变化。虹口区激光位移传感器制造厂家

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根据本发明实施例的激光位移传感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二极管)1、聚焦透镜2、窗口玻璃3、带通滤光片5、成像物镜(也可称为接收物镜)6、感光元件7以及反光元件8。其中,该激光位移传感器用于对被测物体4进行测量。在图1所示的结构中,省略了激光位移传感器的外壳。实际上,上述窗口玻璃3可以设置在激光位移传感器的外壳上,供激光器所发出的光通过。激光位移传感器的工作过程如下:由激光二极管1发射的激光束通过聚焦透镜2聚焦、窗口玻璃3滤光后,照射在被测物体4的表面形成一个测量光斑,激光束可以垂直入射到被测物体4表面(即垂直入射),也可与被测物体4表面成一定的角度(即斜入射)。该测量光斑由成像物镜6成像,并在感光元件7形成测量信号。芜湖激光位移传感器答疑解惑光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器,能够实现非接触式的表面形貌测量。

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系统的整体结构如图1所示。从图1可以看出,整个系统由上位机、激光位移传感器和平台运动控制系统三部分组成。激光位移传感器由激光位移控制器、感测头和监视器组成。平台运动控制系统主要由平移台运动控制器、驱动器、电源和二维电动平移台组成。系统的部分设备如图2所示。图2列出了激光位移传感器感测头和二维电动平移台。图3为激光位移传感器感测头测量对象物原理。参考距离根据被测对象物的变化可测量范围为2 mm,基准距离为30 mm,传感器显示解析度为0.3μm,线性度达到满量程的0.3%,即精度达到6μm。

为克服由于前述各种因素导致激光位移传感器像面上的像点光斑不对称现象对位移检测产生的影响,目前本技术领域采用的做法大致有以下几种情况:采用抗饱和芯片,用以消除芯片饱和产生的拖尾现象,但该方法还无法减小被测物体表面因反射不均匀或因粗糙度不均匀而引起的检测误差;在工业检测中根据不同的被测物体表面反射情况,按照其产生的有规律的不同形状的光斑,采用不同的数据处理方法提高检测精度,这对工作场合稳定、被测物体表面有规律的情况是完全可以的,但对被测表面反射情况事先无法知道的道路检测方面,同样还存在由于光斑不对称产生的测量误差;它还可以用于测量材料的膨胀和收缩,以研究其热学性质。

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所述可伸缩导轨1包括一电动伸缩双直线导轨11、一No.1支撑件15、一第二支撑件16、一滑动轮12、一伸缩制动开关13以及一控制面板14;所述电动伸缩双直线导轨11包括一伺服电机(未图示)、一双直线导轨111以及一丝杆(未图示),所述丝杆设于所述双直线导轨111内部,所述丝杆与所述双直线导轨111动联接,所述伺服电机设于所述双直线导轨111的末端且与所述丝杆连接,所述伺服电机通过所述丝杆联动所述双直线导轨111进行伸缩;所述No.1支撑件15安装在所述电动伸缩双直线导轨11固定端的底部,所述第二支撑件16安装在所述电动伸缩双直线导轨11可伸缩端的底部;所述滑动轮12设于所述第二支撑件16的底部,所述电动伸缩双直线导轨11可通过所述滑动轮12进行伸缩;所述伸缩制动开关13设于所述第二支撑件16的侧面,用于伸缩制动的开启与关闭;所述控制面板14与所述电动伸缩双直线导轨11电连接,所述控制面板14用于控制所述电动伸缩双直线导轨11的伸缩距离。高精度激光位移传感器具有较高的精确度,能够满足精密测量的需求。虹口区激光位移传感器制造厂家

它们的稳定性使得测量结果具有较高的重复性和可信度。虹口区激光位移传感器制造厂家

一种激光位移传感器,包括激光器、成像物镜以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时,解析结果满足以下条件:在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,MTFS>MTFT;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,MTFT>MTFS;其中,MTFS为弧矢方向上的MTF值,MTFT为子午方向上的MTF值;在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFS>MTFT;或者,在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下,所述成像物镜本身的MTFT>MTFS,使得所述解析结果满足所述条件;和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件,并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离,使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS>MTFT×10。虹口区激光位移传感器制造厂家

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