好的激光位移传感器性价比高企业

本发明涉及光学测量领域，并且特别地，涉及一种激光位移传感器；光学传感器是依据光学原理进行测量的仪器，这类传感器有许多优点，例如，能够实现非接触和非破坏性测量、测量几乎不受干扰、能够实现高速传输以及可遥测、遥控、可实时处理等优点。光学传感器包括很多类型，其中，以激光三角法为基本原理的激光位移传感器是一种利用激光为光源、将CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互补金属氧化物半导体)或者CCD(Charge-coupledDevice，电荷耦合元件)传感器作为接收器的精密测量仪器。这种传感器能够在非接触的情况下精确测量被测物体的位置、位移等变化，并且能够被应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。这些传感器通常具有长寿命和较低的故障率，能够在恶劣的工作环境下正常运行。好的激光位移传感器性价比高企业

随着科学技术的迅猛发展，具有非接触、高精度、稳定性好、可自动化及易于与计算机相结合等特点的激光位移检测技术在自动检测、机器人视觉、计算机辅助设计与制造等领域得到了广泛的应用，已将逐渐取代传统的接触式检测技术，成为现代检测技术很重要的手段和方法。非接触式激光平面检测系统主要利用激光位移传感器与平台运动控制系统来检测对象物平面平整度。位移传感器用来测量目标物体的距离，按与对象物的接触类型它分为两类：主要有使用差动电压等形式的接触式与使用磁场、超声波、激光等形式的非接触式。由于非接触式激光位移传感器具有高精度表面扫描的特点，系统选择基恩士公司的LT一9001Series型激光位移传感器，该激光位移传感器可以对任何对象物进行高精密度的位移测定，例如可以对微细工件、粗面工件的高度进行测定，还可以测量电路板上的焊锡以及测定透明体的表面和厚度。平台运动控制系统选择丹纳赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二维电动平移台。云南丽江天文工作站2.4mm天文望远镜终端的拼接CCD相机为了得到更清晰的天体图像，将采用该非接触式激光平面检测系统，对拼接CCD相机平面平整度进行检测。黄浦区激光位移传感器的用途和特点高精度激光位移传感器具有较高的灵敏度，能够检测微小的位移变化。

值得一提的是，针对成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的实现方式可以包含以下两种：(方式1)成像物镜6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物镜6的T和S方向的MTF值接近时，在成像物镜前或后加入能够引入像散的光学元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微调成像物镜6与感光元件7之间的相对距离即像距，以达到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平yh

通过将空间频率为62.5lp/mm时的MTF解析结果保持在MTFS＞MTFT×10或MTFT＞MTFS×10，尤其是让解析结果满足：MTFS≥0.5且MTFT＜0.05、或者MTFT≥0.5且MTFS＜0.05，能够让光斑在感光元件的感光单元的主要排列方向上的延伸更加明显，进一步降低成像物镜的设计难度、以及制造和维护成本；对于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物镜，通过在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件(如平板玻璃等)，配合微调成像物镜与所述感光元件之间的相对距离来使得成像物镜和感光元件所组成整体的MTF值满足上述要求，能够很容易地让光斑被拉长，更加容易被感光元件所接收；采用激光束对目标物体进行扫描和测量，因此可以实现非接触式的位移测量。

在图1所示的实施例中，成像物镜6包含以下两种结构形式：(形式一)成像物镜6为物侧面和像侧面都为非球面的单一非球面镜片，(形式二)成像物镜6是由多个镜片组合而成的透镜组。综上所述，本发明在激光位移传感器的光学系统设计时，利用增加像散，在感光元件的感光单元沿着S方向排列的情况下，拉高成像物镜S方向的MTF值同时降低T方向上的MTF值，使得线阵感光元件上的光斑呈现长条状态，进而实现以下技术效果：降低激光位移传感器中成像物镜的设计难度，同时降低了设备的成本；激光位移传感器的使用非常方便。德州激光位移传感器找哪家

激光位移传感器可以实现微米级的位移测量。好的激光位移传感器性价比高企业

激光位移传感器的测量精度容易受到被测物体表面特征的影响，为了减小测量误差，在整形镜设计中应尽量使出射光斑在有效的测量范围内实现光斑小且均匀。针对传感头小型化设计的要求，半导体激光器体积小、重量轻的优点正好符合这一要求，但其光束质量并不理想，需要对其进行光束整形。半导体激光器快慢轴的光束分布极不对称:快轴发散角较大，半角的典型值为30～40°，光束呈高斯分布，发光范围的半宽度为0.6～0.8μm，慢轴发散角的半角典型值为3～6°，光束分布不规则，发光范围半宽度为50～100μm。因此，在不允许能量损失的情况下，要求整形系统的物方数值孔径(NA)>0.573；但由于光束的快轴能量呈高斯分布，通常取半宽度(FWHM)为20°，此时NA=0.342。系统物距应尽量小一些，但考虑到工艺问题，不宜过小，选定为2.5mm。为了便于设计，将系统倒置，整个系统的主要要求为:工作波长为785±10nm，像方NA=0.342，像距l′=2.5mm，物距l=40～60mm，焦距f=3～4mm。好的激光位移传感器性价比高企业