辽宁光谱共焦位移传感器工厂

时间:2024年06月01日 来源:

3.根据权利要求2所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述半透半反光学镜包括有上三棱镜,与上三棱镜胶合的下三棱镜,胶合面镀有半透半反膜,所述半透半反膜与所述入射光纤的出光端射出的光线呈45°设置,所述上三棱镜和所述下三棱镜均采用等边直角棱镜,所述上三棱镜和所述下三棱镜的直角边相等。4.根据权利要求3所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述上三棱镜上背向所述反光镜的一面设置为哑光面。5.根据权利要求2所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述探头壳体的末端固定设置有用于对光线进行色散聚焦的色散镜头,所述色散镜头包括有准直镜组和色散聚焦镜组,所述准直镜组设置在多色光光源的一侧,用于多色光光源的准直;所述色散聚焦镜组设置在被测物体的一侧,用于将多色光分别聚焦,并产生轴向色散。光谱共焦位移传感器需要专门的光谱共焦显微镜来实现测量。辽宁光谱共焦位移传感器工厂

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1.光谱共焦位移传感器系统,其特征在于:所述传感器系统由卤素灯光源、Y型光纤、光谱共焦透镜组、共焦小孔和光谱仪组成,所述卤素灯光源连接所述Y型光纤,所述光谱仪通过所述共焦小孔连接所述Y型光纤一端,所述Y型光纤另一端连接所述光谱共焦透镜组,所述光谱共焦透镜组包括盒盖、盒体、两个双凸球面镜、套简和一个弯月透镜,所述盒体内设置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之间,所述光路通道上从左往右依次设置有两个相互平行的number one卡槽和一个第二卡槽,两个所述双凸球面镜分别限位在两个所述number one卡槽内,所述弯月透镜限位在所述第二卡槽内,所述Y型光纤通过SMA905插头与所述盒体相连。2.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器系统,其特征在于:所述套筒限位在所述限位槽内,且与所述限位槽相匹配,所述套筒上设置有用于光纤连接的螺纹孔。3.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器系统,其特征在于:两个所述双凸球面镜的凸面侧朝内对称设置。4.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器系统,其特征在于:两个所述双凸球面镜之间的间距为2.5~5.5mm。唐山光谱共焦位移传感器24小时服务该传感器适用于高分辨率成像系统,如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。

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光谱共焦位移传感器系统中的光谱仪还包括有用于对反射光进行准直调整的准直透镜组,准直透镜组设置在接收光纤的出光端与所述棱镜组之间。机壳设置有两层,聚焦透镜组位于所述机壳的上层,感光元件位于机壳的下层,聚焦透镜组与感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组,光线转向镜组包括有上反光镜,设置在上反光镜下方位置的下反光镜,光线转向镜组用于使从上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。

光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件,提示组件包括有:发光件,发光件设置在光源耦合器中;导光光纤,所述导光光纤的一端连接在光源耦合器中,且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上,所述导光光纤用于传导发光件所发出的提示光。进一步,入射光纤,接收光纤,导光光纤外表面套设有保护套,所述保护套一端固定设置在探头壳体内。采用上述方案的有益效果是:本实用新型提出的一种光谱共焦位移传感器,通过光源耦合器产生多色光源,多色光源在入射光纤中传导到光谱共焦位移传感探头内,通过光谱共焦位移传感探头内的透镜组和光学元件使多色光发生光谱色散,不同波长的单色光聚焦到不同的轴向位置,使波长与被测物体的位移产生对应关系;光谱共焦技术可以消除光学系统的像差和色差等影响,提高测量精度。

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传统的探头中采用的是分光镜,分光镜有一定厚度,使光波产生了垂直光轴方向的横向偏移,而波长不同,其横向偏移不相等,导致多色光的光轴发生分离,经过色散镜头后的聚焦点上不在光轴上,其连线也不是一条直线,所以会产生较大的轴向像差和横向像差而降低MTF值,使整个系统产生较大误差,难以保证整个系统的测量精度。因此,本方案采用的半透半反光学镜2300实现所有多色光的波长共光轴,不发生光轴偏移,即发射光线和接收光线沿光轴完全对称,而且没有垂直光轴方向的偏移,可以更好的消除像差,同时其结构简单,提高机械结构的可加工性。该传感器的测量范围受到光谱共焦显微镜成像范围的限制。本地光谱共焦位移传感器大概价格多少

它可以测量物体微小的位移,精度高达亚微米级别。辽宁光谱共焦位移传感器工厂

多个光入射口可以沿着与线传感器的线方向相对应的预定方向设置。因此,可以容易地设计分光器。分光器可以包括设置有多个光入射口的光入射面。在这种情况下,多个光入射口可以设置在包括线方向和预定基准轴的方向的平面与光入射面相交的直线上。因此,可以容易地设计分光器。在针对多个光学头中的各光学头将如下区域假定为测量对象区域的情况下,多个受光区域可以与分别对应于多个光学头的多个测量对象区域相对应,其中,该区域是线传感器的从在射出多个光東中的具shortest波长的光作为测量光的情况下的受光位置到在射出具有longest波长的光作为测量光的情况下的受光位置为止的区域。辽宁光谱共焦位移传感器工厂

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