设备光谱共焦位移传感器

激光位移传感器的工作原理是利用激光发射光束投射到被测物体表面，接收反射光并将光信号转换为电信号输出，从而获取被测物体空间位置信息。根据激光源发射光束的不同，激光传感器可分为点、线两种。点激光位移传感器在一个采样周期内只能获得被测量的一维信息，使用时通常依托于三坐标测量机或三坐标机床等设备，通过设备机械运动及传感器同步扫描来获取被测物体三维信息。因此，激光位移传感器在精密测量领域有着广泛的应用。。。该传感器可用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域的精密测量。设备光谱共焦位移传感器

准直镜组与色散聚焦镜组同轴设置，且准直镜组和色散聚焦镜组共焦点。这样，使准直镜组与色散聚焦镜组形成4F光学系统，进一步减小杂散光。准直镜组与色散聚焦镜组结构简单，易于加工装配和调整，同时实现准直镜组与色散聚焦镜组的轴向色散与波长有较好的函数关系的优点；例如，轴向色散与波长产生三次函数关系，有利于加快后续处理数据的运算速度。本实用新型的光谱仪包括有机壳，在机壳中固定设置有棱镜组，棱镜组位于接收光纤出光端的轴向上，棱镜组用于对反射光进行色散，在机壳内固定设置有聚焦透镜组，聚焦透镜组用于对色散后的光进行聚焦，位于机壳内的所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的多色光。天津光谱共焦位移传感器招商加盟它可以实现对材料的表面形貌进行高精度测量，对于研究材料的表面性质具有重要意义。

将光纤和光纤连接至白色LED。具体地,光纤和被布置成使得它们的端部在白色LED 的发光区域中彼此充分地接近。因此,可以从单个白色LED 向光纤和射出白色光W。应当注意,可以适当地设计发光区域的面积和光纤的芯直径等,并且还可以配置用于将白色光W向两个光纤射出的光学系统等。光纤分束器将从光纤导入的白色光W导出至与No.1光学头相连接的光纤。此外,光纤分束器34a将从光纤导入的测量光进行分支,并且将其导出至与分光器相连接的光纤。因此,使从No.1光学头射出的测量光从光纤射出到分光器的内部。

进一步，光谱共焦位移传感探头包括有：探头壳体，探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接； 半透半反光学镜，半透半反光学镜固定设置在入射光纤的出光端的正下方；反光镜，反光镜固定设置在探头壳体的内侧壁上，反光镜用于反射半透半反光学镜所发出的反射光，接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。进一步，半透半反光学镜包括有上三棱镜，与上三棱镜相胶合的下三棱镜，胶合面镀有半透半反膜，半透半反膜与所述入射光纤的出光端射出的光线呈45°设置，上三棱镜和下三棱镜均采用等边直角棱镜，上三棱镜和下三棱镜的直角边相等。该传感器可被应用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量。

上三棱镜上背向所述反光镜的一面设置为哑光面，探头壳体的末端固定设置有用于对光线进行色散聚焦的色散镜头，色散镜头包括有准直镜组和色散聚焦镜组，准直镜组设置在多色光光源的一侧，用于多色光源的准直；色散聚焦镜组设置在被测物体的一侧，用于将多色光分别聚焦，并产生轴向色散。光谱仪包括有机壳，固定设置在机壳中并位于接收光纤出光端的轴向上且用于对反射光进行色散的棱镜组，固定设置在所述棱镜组的出光端并用于对色散后的光进行聚焦的聚焦透镜组，感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的多色光。该传感器适用于高分辨率成像系统，如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。设备光谱共焦位移传感器

光谱共焦位移传感器可以实现对材料的变形过程进行实时监测，对于研究材料的力学行为具有重要意义。设备光谱共焦位移传感器

当光线射到半透半反膜上时，一部分光线进行透射到下三棱镜上，一部分光线进行反射，反射到背向所述反光镜的一面，在上三棱镜背向所述反光镜的一面上进行涂黑处理从而成为哑光面，当光被半透半反光学镜反射到哑光面上时，被哑光面吸收，因此可以减少整个系统的杂散光，提高信噪比。由于半透半反膜的厚度很小，因此射到下三棱镜上的折射光线的偏移量小，因此可认为，多色光从下三棱镜射出时，基本不发生位置偏移，从下三棱镜上射出的光线的光轴与从入射光线的出光端射出的光轴重合。这样实现所有多色光的波长共光轴，而且不发生光轴偏移，有利于后续对多色光进行色散和聚焦。设备光谱共焦位移传感器