高精度光谱共焦位移传感器答疑解惑

准直镜组与色散聚焦镜组同轴设置，且准直镜组和色散聚焦镜组共焦点。这样，使准直镜组与色散聚焦镜组形成4F光学系统，进一步减小杂散光。准直镜组与色散聚焦镜组结构简单，易于加工装配和调整，同时实现准直镜组与色散聚焦镜组的轴向色散与波长有较好的函数关系的优点；例如，轴向色散与波长产生三次函数关系，有利于加快后续处理数据的运算速度。本实用新型的光谱仪包括有机壳，在机壳中固定设置有棱镜组，棱镜组位于接收光纤出光端的轴向上，棱镜组用于对反射光进行色散，在机壳内固定设置有聚焦透镜组，聚焦透镜组用于对色散后的光进行聚焦，位于机壳内的所述感光元件设置在聚焦透镜组的出光端并用于接收聚焦后的多色光。光谱共焦位移传感器可以实现对不同材料的位移测量，包括金属、陶瓷、塑料等。高精度光谱共焦位移传感器答疑解惑

传统的探头中采用的是分光镜，分光镜有一定厚度，使光波产生了垂直光轴方向的横向偏移，而波长不同，其横向偏移不相等，导致多色光的光轴发生分离，经过色散镜头后的聚焦点上不在光轴上，其连线也不是一条直线，所以会产生较大的轴向像差和横向像差而降低MTF值，使整个系统产生较大误差，难以保证整个系统的测量精度。因此，本方案采用的半透半反光学镜2300实现所有多色光的波长共光轴，不发生光轴偏移，即发射光线和接收光线沿光轴完全对称，而且没有垂直光轴方向的偏移，可以更好的消除像差，同时其结构简单，提高机械结构的可加工性。如何选光谱共焦位移传感器诚信合作该传感器可应用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量。

本实施例中通过采用可拆卸连接便于导光光纤的维护和更换。所述的发光件可设置为一个或多个，当设置为一个时，导光光纤均传递一个发光件的光，这样会导致传递到探头壳体上的光较弱，从而导致光线的辨识度不高，因此本实施例中的所述发光件设置有多个，根据数量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的导光光纤设置有多个，发光件和导光光纤的关系为一一对应连接关系，多个导光光纤呈对称分布或圆周阵列分布在探头壳体的侧壁上，这样由导光光纤一一对应传递发光件产生的光，使光从探头壳体上发出后辨识度高。

随着精密和超精密制造业的迅速发展,对高精密的检测需求也越来越高,因此高精密的位移传感器也应运而生。超精密的位移传感器精度可达到微纳米级别;传统的接触式测量虽然也有较高的精度,但是由于其可能会划伤被测物体表面,而且当被测物体为弱刚性或是轻软材料时,接触式测量也会造成弹性形变,引入测量的误差,而且接触式测量速度较慢,难以实现自动化测量,基于接触式测量存在的诸多不足,因此非接触式位移传感器受到了更大的关注。如今非接触式测量主要有电磁式和光电式两类,电磁式位移传感器对被测物体的材料类型有要求,因此不具有wide适用性,而且外界的电磁信号的干扰也会对测量的精度造成影响;高精密光电式位移传感器,目前常用的是基于激光三角法的位移传感器,其测量原理是激光光源打在被测物体表面,反射的光经过收光镜简,在光电探测器CCD上成像通过算法标定可以推算出被测物体的位移。目前的光谱共焦位移传感器大多采用分光镜和线阵CCD采集干涉条纹的方法,通过两束光源产生干涉,干涉条纹的宽度信息可以反映被测物的位移量测量信息,此种方案结构复杂,成本相对较高;传统的激光三角法光路容易出现遮挡,导致接收反射光困难,对透明玻璃或表面有凹坑的材料等更是难以测量。光谱共焦位移传感器是一种高精度具有广泛的应用前景。

本实用新型解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种光谱共焦位移传感器，旨在通过光谱共焦工作原理，避免通过激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑，克服不易确定像点的质心位置的缺陷。本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下： 一种光谱共焦位移传感器，包括底座，其中，还包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于产生多色光； 入射光纤，所述入射光纤的入光端固定连接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所发出的多色光；光谱共焦位移传感器是一种高精度非接触位移测量传感器。设备光谱共焦位移传感器

该传感器的应用将有助于提高微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量的准确性和效率。高精度光谱共焦位移传感器答疑解惑

光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析，通过光谱波峰位置反推出被测物体的位移，实现通过光谱共焦的原理测量位移的过程。应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。一条连接结构，实现便于装配的同时，对入射光纤，接收光纤，多个导光光纤进行保护。创视智能嗯高精度光谱共焦位移传感器答疑解惑