上海光谱共焦位移传感器欢迎选购

时间:2024年06月04日 来源:

光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析,通过光谱波峰位置反推出被测物体的位移,实现通过光谱共焦的原理测量位移的过程。应当理解的是,本实用新型的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。一条连接结构,实现便于装配的同时,对入射光纤,接收光纤,多个导光光纤进行保护。创视智能嗯该传感器适用于高分辨率成像系统,如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。上海光谱共焦位移传感器欢迎选购

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光谱共焦位移传感器是一种具有超高精度和超高稳定性的非接触式位移传感器。与激光三角法相比,光谱共焦具有更高的分辨率,并且由于光发射和接收同光路,不会出现激光三角法光路容易被遮挡或被测目标表面过于光滑而接收不到目标反射光的情况,对被测物体适应性强,适用于手机玻璃的检测,凹坑、小孔的测量以及表面形貌的扫描恢复。 光谱共焦传感器是一种基于光学色散原理的非接触式位移传感器,目的是建立距离与波长间的对应关系。传统的激光三角法测量技术已经比较成熟,运用也比较widely,但由于CCD相机接收反射光范围的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的测量。光谱共焦位移传感器由于其运用同光路的光纤,只要光能照射的区域就能够沿原路返回,可以解决传统的激光三角法测量不了的领域,对一些高反射、高深宽比、陡峭内壁表面有缺陷的玻璃间隙进行测量,且测量精度能够达到亚微米级别。松江区什么样光谱共焦位移传感器光谱共焦位移传感器可以实现对材料的变形过程进行实时监测,对于研究材料的力学行为具有重要意义。

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8.根据权利要求7所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述机壳设置有两层,所述聚焦透镜组位于所述机壳的上层,所述感光元件位于所述机壳的下层,所述聚焦透镜组与所述感光元件的光路之间设置有用于转变光线传播方向的光线转向镜组,所述光线转向镜组包括有上反光镜,设置在所述上反光镜下方位置的下反光镜,所述光线转向镜组用于将上层的聚焦透镜组射出的光线聚焦到下层的感光元件上。根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件,所述提示组件包括有:发光件,所述发光件设置在光源耦合器中;导光光纤,所述导光光纤的一端连接在所述光源耦合器中且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上,所述导光光纤用于传导所述发光件所发出的提示光。10.根据权利要求9所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述入射光纤,接收光纤,导光光纤外表面套设有保护套,所述保护套一端固定设置在探头壳体内。

接收光纤,所述接收光纤的入光端固定设置在所述光谱共焦位移传感探头内,所述接收光纤的入光端用于选择性的接收所述光谱共焦位移传感探头传导的被测物体的反射光;光谱仪,所述光谱仪固定连接所述接收光纤的出光端,所述光谱仪带有感光元件并用于把被测物体的反射光进行色散聚焦到感光元件上且量化成光谱曲线。2.根据权利要求1所述的光谱共焦位移传感器,其特征在于,所述光谱共焦位移传感探头包括有:探头壳体,所述探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接;半透半反光学镜,所述半透半反光学镜固定设置在所述入射光纤的出光端的正下方;反光镜,所述反光镜固定设置在所述探头壳体的内侧壁上,所述反光镜用于反射所述半透半反光学镜所发出的反射光,所述接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。该传感器可用于微纳制造、生物医学和半导体制造等领域的精密测量。

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发光件和导光光纤的入光端之间,固定设置有滤光片,滤光片固定设置在发光件和导光光纤之间,滤光片用于过滤红外线,以减少光热效应高的红外线在传递到探头壳体的位置时,使探头壳体发热变形而影响探头精度。探头壳体的侧壁上开设有沉孔,连接导光光纤的出光端的插槽开设在沉孔底部,且导光光纤的出光端与沉孔的底部的插槽可拆卸连接;这样,通过沉孔的设置,在探头壳体上形成对导光光纤连接位进行避让,避免使用者在使用过程中触碰到导光光纤,从而影响影响导光光纤,或损伤导光光纤与探头壳体的连接位。光谱共焦位移传感器是一种高精度具有广泛的应用前景。武汉光谱共焦位移传感器设备生产

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进一步,光谱共焦位移传感探头包括有:探头壳体,探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接; 半透半反光学镜,半透半反光学镜固定设置在入射光纤的出光端的正下方;反光镜,反光镜固定设置在探头壳体的内侧壁上,反光镜用于反射半透半反光学镜所发出的反射光,接收光纤入光端位于所述反光镜的上方。进一步,半透半反光学镜包括有上三棱镜,与上三棱镜相胶合的下三棱镜,胶合面镀有半透半反膜,半透半反膜与所述入射光纤的出光端射出的光线呈45°设置,上三棱镜和下三棱镜均采用等边直角棱镜,上三棱镜和下三棱镜的直角边相等。上海光谱共焦位移传感器欢迎选购

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