崇明区激光位移传感器技术指导

2、与传统激光位移传感器相比，本发明所涉及的激光位移传感器在光学系统中，S方向的成像质量更高，进而从理论上可提高其测量精度；3、通过增加像散使线阵感光元件上的光斑信号呈现长条状态，增大光斑信号与像元之间的接触面积，进而降低机械件变形对信噪比的影响。在以上描述的实施例中，感光元件的感光单元沿着水平方向(将弧矢方向定义为水平方向)排列，将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在子午方向上的MTF值降低，而将弧矢方向上的MTF值拉高。在其他实施例中，感光元件的感光单元沿着竖直方向(将子午方向定义为竖直方向)排列，此时，可以将成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统在弧矢方向上的MTF值降低，而将子午方向上的MTF值拉高。这样，同样能够达到上述类似的技术效果。以上所述only为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。激光三角反射式测量原理基于简单的几何关系。崇明区激光位移传感器技术指导

值得一提的是，针对成像物镜6和感光元件7所组成的成像系统，拉高S方向的MTF值，降低T方向MTF值的实现方式可以包含以下两种：(方式1)成像物镜6自身的S方向MTF值高，而T方向的MTF值低；(方式2)在成像物镜6的T和S方向的MTF值接近时，在成像物镜前或后加入能够引入像散的光学元器件(例如，可以是平板玻璃等)，配合微调成像物镜6与感光元件7之间的相对距离即像距，以达到S方向MTF值高，而T方向的MTF值低的效果。sxfhbxfbxfxhgtxfho哦平yh奉贤区激光位移传感器品牌企业高精度激光位移传感器具有较高的分辨率，能够测量微小的位移变化。

如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置；所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上，所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器；所述夹持器套设在所述纵向螺杆上，所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa

从图3所示的成像光学系统结构图可看出，在整个物面并不垂直于光轴时，经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴，与光轴存在一定的夹角β，设计的lastβ优化值取为60.4628°，此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状，此点列图表明成像光斑分布均匀，但还存在一定的剩余像差，主要为球差，光斑大小可见表2，光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm，经计算tanα/tanβ=0.6137，di/do=0.6145，此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。它可以用于测量电子元件的尺寸和形状。

系统的整体结构如图1所示。从图1可以看出，整个系统由上位机、激光位移传感器和平台运动控制系统三部分组成。激光位移传感器由激光位移控制器、感测头和监视器组成。平台运动控制系统主要由平移台运动控制器、驱动器、电源和二维电动平移台组成。系统的部分设备如图2所示。图2列出了激光位移传感器感测头和二维电动平移台。图3为激光位移传感器感测头测量对象物原理。参考距离根据被测对象物的变化可测量范围为2 mm，基准距离为30 mm，传感器显示解析度为0.3μm，线性度达到满量程的0.3％，即精度达到6μm。激光位移传感器可以实现微米级的位移测量。赣州激光位移传感器按需定制

采用激光束对目标物体进行扫描和测量，因此可以实现非接触式的位移测量。崇明区激光位移传感器技术指导

进一步地，所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手；所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接，另一端与所述电子测量仪抵接；所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。进一步地，所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置；所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上，所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述横向蜗杆上。 进一步地，所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器；所述夹持器套设在所述纵向螺杆上，所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。

优点在于：1、通过所述电子千分表，使得所述激光位移传感器的检验精度极大提高。2、通过所述电动伸缩双直线导轨，简化了检验流程、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。 崇明区激光位移传感器技术指导