天津有哪些光谱共焦位移传感器

时间:2024年06月20日 来源:

如图1至图3所示,为本实用新型光谱共焦位移传感器系统,传感器系统由卤素灯光源1、Y型光纤2、光谱共焦透镜组3、共焦小孔6和光谱仪5组成,卤素灯光源1连接Y型光纤2,卤素灯光源1的光谱波段范围为360nm~2500nm,光谱仪5通过共焦小孔6连接Y型光纤2-端,型光纤2另一端连接光谱共焦透镜组3,光谱共焦透镜组3包括盒盖、盒体7、两个双凸球面镜9、套筒12和一个弯月透镜11,盒体7内设置有光路通道8、限位槽13和透光孔10,光路通道8位于限位槽13和透光孔10之间,光路通道8上从左往右依次设置有两个相互平行的一号卡槽和一个第二卡槽,两个双凸球面镜9分别限位在两个一号卡槽内,两个双凸球面镜9的凸面侧朝内对称设置,两个双凸球面镜9之间的间距为2.5~5.5mm,弯月透镜11限位在第二卡槽内,位于中间的双凸球面镜与弯月透镜之间的间距为3.5~6.0mm,Y型光纤2通过SMA905插头4与盒体7相连,套简12限位在限位槽13内,且与限位槽13相匹配,套筒12上设置有用于光纤连接的螺纹孔。光谱共焦位移传感器具有非接触式测量的优势,可以在微观尺度下进行精确的位移测量。天津有哪些光谱共焦位移传感器

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将光纤和光纤连接至白色LED。具体地,光纤和被布置成使得它们的端部在白色LED 的发光区域中彼此充分地接近。因此,可以从单个白色LED 向光纤和射出白色光W。应当注意,可以适当地设计发光区域的面积和光纤的芯直径等,并且还可以配置用于将白色光W向两个光纤射出的光学系统等。光纤分束器将从光纤导入的白色光W导出至与No.1光学头相连接的光纤。此外,光纤分束器34a将从光纤导入的测量光进行分支,并且将其导出至与分光器相连接的光纤。因此,使从No.1光学头射出的测量光从光纤射出到分光器的内部。青浦区光谱共焦位移传感器工厂光谱共焦位移传感器是一种先进的光学测量技术,可以实现高精度的位移测量。

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本实用新型涉及光电精密测量领域,尤其涉及的是一种光谱共焦位移传感器。随着我国的航空航天、汽车、造船等高技术产业飞速发展,对产品和零部件外形尺寸的工艺水平及精度要求越来越高,所以,能否进行高效率、高精度的检测,将直接关系到产品的质量和使用寿命。能进行高效率、高精度测量的技术手段通常分为接触式测量(以机械式和压电式为主)与非接触式测量(光学式为主)两类。非接触式光学测量具有如下优点:无损检测:可测量柔软和易变形件、脆性和易损件,特别适合不允许接触的场景。

本实施例中的光谱共焦位移传感探头具体包括有探头壳体,探头壳体与入射光纤和接收光纤固定连接,探头壳体优先采用圆柱形壳体,用于对探头内的光学元件进行安装和支撑且对结构进行保护,易于想到的是,探头壳体可设置为方形,多边形或其他特定形状。在探头壳体内固定设置有半透半反光学镜,半透半反光学镜位于所述入射光纤的出光端的正下方;半透半反光学镜对通过入射光纤传导后的多色光实现一半透射而一半反射,而当透射的光线经过被测物体反射形成反射光后照射到半透半反光学镜上,半透半反光学镜对反射光进行一半透射,一半反射;该传感器的应用将有助于提高微纳制造、生物医学和半导体制造等领域中的精密测量的准确性和效率。

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易于想到的是,发光件还可设置为发射多色光,如当被测物体放置在efficient测量区域但不是best位置时,发光件发出黄光等。光源耦合器和探头壳体之间设置有导光光纤,导光光纤的入光端可拆卸连接在光源耦合器中,preference的连接方式为导光光纤的入光端正对发光件的发光面,探头壳体上开设有插槽,导光光纤的另一端(出光端)通过插槽可拆卸连接在探头壳体的侧壁上,导光光纤用于将光源耦合器中的发光件发出的光传导到探头壳体的侧壁,从而实现提示光从探头壳体的侧壁上发出,当手握探头壳体进行位置测量时,方便人眼获取探头壳体上发出的指示光,通过指示光的不同颜色,从而判断物体的摆放位置的状态。该传感器适用于高分辨率成像系统,例如光学显微镜和扫描电子显微镜中的位移测量。浙江国内光谱共焦位移传感器

该传感器利用光学共焦原理,通过测量材料表面的光谱变化来确定位移大小。天津有哪些光谱共焦位移传感器

通过在使用测量光从虚拟光入射口入射的情况下的光轴作为基准的情况下在布置线传感器的同时配置光学系统,可以将从多个光入射口入射的测量光分别射出至线传感器的多个受光区域。 多个光入射口可以被设置成从 多个光入射口入射的 多个测量光束各自的光轴变得与 预定基准轴大致平行。因此,可以容易地将各测量光束射出至多个受光区域。 多个光入射口可以设置在相对于 预定基准轴相互对称的位置处。因此,可以容易地设计分光器。 多个光入射口可以设置在相对于 虚拟光入射口相互对称的位置处。通过将多个光入射口设置在相对于作为基准轴的起点的虚拟光入射口相互对称的位置处,可以容易地设计分光器。天津有哪些光谱共焦位移传感器

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