浦东新区激光位移传感器技术指导

在激光位移传感器中，激光束通过调整音叉透过高速上下移动的物镜，在受测对象物上聚集为一焦点，同时反射光也会在小孔位置合集为一点，并使受光元件受光，通过测定物镜的具体的位置，从而准确地测定目标物离参考位置的距离，并不受材质、颜色或倾斜度的影响。图4为感测头的焦点分别为对准和没有对准对象物时的情况。上位机与激光位移传感器中的控制器之间通过RS 232串行口进行通信，串口信号格式为：COMl口、波特率9 600、无奇偶校验、8位数据位、1位停止位，也可以通过手柄控制激光位移传感器中的控制器采集数据。激光位移传感器在金属行业的应用案例。浦东新区激光位移传感器技术指导

一种激光位移传感器，包括激光器、成像物镜以及感光元件，所述激光器用于射出激光束，由所述成像物镜接收并出射的光入射到所述感光元件，其特征在于，在对所述成像物镜和所述感光元件进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS>MTFT；在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT>MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值；在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，所述成像物镜本身的MTFS>MTFT；或者，在所述感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，所述成像物镜本身的MTFT>MTFS，使得所述解析结果满足所述条件；和/或在所述成像物镜前和/或在所述成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件，并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离，使得所述解析结果满足所述条件。2.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS>MTFT×10。好的激光位移传感器免费咨询激光位移传感器可以测量位移、厚度、振动、距离、直径等精密的几何测量。

本发明公开了一种激光位移传感器，包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件，在对成像物镜和感光元件进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。本发明能够降低物镜的设计难度，节省制造和维护成本，另外还有助于提高测量的准确度，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。

进一步地，所述可伸缩导轨包括一电动伸缩双直线导轨、一No.1支撑件、一第二支撑件、一滑动轮、一伸缩制动开关以及一控制面板；所述No.1支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨固定端的底部，所述第二支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨可伸缩端的底部；所述滑动轮设于所述第二支撑件的底部；所述伸缩制动开关设于所述第二支撑件的侧面；所述控制面板与所述电动伸缩双直线导轨电连接。进一步地，所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台；所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部，所述微调平台的末端向上设有一延伸部；所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端；所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。

根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFT≥0.5，MTFS<0.05。4.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：反光元件，所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上，所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。5.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：带通滤光片，设置于所述成像物镜的入射光路上。6.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：聚焦透镜，设置于所述激光器的出射光路上。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器，其特征在于，所述感光元件为线阵感光元件，所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列，该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。相比于传统的接触式传感器，激光位移传感器不会对被测物体造成任何损伤或干扰，适用于对敏感物体进行测量。南通激光位移传感器工厂

非接触式位移传感器的出现推动了现有技术的适应，以满足新的测量要求并提高测量的准确性和分辨率。浦东新区激光位移传感器技术指导

本实用新型提供了一种激光位移传感器检验校准装置，包括一可伸缩导轨、一微调装置、一传感器夹持装置、一激光位移传感器以及一激光红外线接收挡板；所述微调装置和传感器夹持装置设于所述可伸缩导轨的上端；所述激光位移传感器夹持在所述传感器夹持装置上，且使所述激光位移传感器的激光发射端朝向所述微调装置；所述激光红外线接收挡板与所述微调装置固接，且使所述激光红外线接收挡板的接收面朝向所述传感器夹持装置。本实用新型的优点在于：简化检验流程、检验精度高、设备结构简单、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。浦东新区激光位移传感器技术指导