无锡防水光谱共焦位移传感器

时间:2024年06月30日 来源:

位于沉孔的开口端,通过粘接固定设置有透光镜,透光镜为玻璃材质或塑料材质,透光镜可以为平面镜或凹透镜,平面透光镜的设置可以对导光光纤的出光端进行保护,本实施例中推荐凹透镜,凹透镜可以将导光光纤从发光件传导过来的光发散传导到探头外,使光的指示范围更广,更有利于使用者观察。探头壳体设置为两部分,包括有上壳体和下壳体,上壳体和下壳体均为圆柱形,上壳体和下壳体通过螺纹或卡扣实现可拆卸连接,导光光纤的出光端连接在上壳体的沉孔上;而探头的其他精密光学部件设置在下壳体上,这样导光光纤传导从发光件发出来的光时,不可避免的会产生热量,通过上壳体与下壳体的分开设置,从而上壳体和下壳体之间装配过程中产生配合间隙,导光光纤的热量大部分会传导到上壳体上,上壳体与下壳体的配合间隙会抵消上壳体因受热而产生的形变量,从而减少产生的热量对下壳体及对下壳体中的高精度元件的影响,提高探头精度。它利用光谱共焦技术来测量物体的微小位移,具有亚微米级的高精度。无锡防水光谱共焦位移传感器

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被测物体表面反射的反射光通过探头选择性的接收并由接收光纤传输到光谱仪,光谱仪对反射光进行聚焦并通过设置在光谱仪中的感光元件对反射光进行量化处理,量化后的光波在光谱仪上产生一个光谱波峰,光谱曲线的峰值位置与聚焦于被测物体表面的波长产生对应关系;光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析,通过光谱波峰位置反推出被测物体的位移,实现光谱共焦测量位移的过程,通过光谱共焦工作原理,避免激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑,克服不易确定像点的质心位置的缺陷。常用光谱共焦位移传感器安装操作注意事项光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、生物医学、纳米技术等多个领域。

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被测物体表面反射的反射光通过探头接收并由接收光纤选择性的传输到光谱仪,光谱仪对反射光进行聚焦并通过设置在光谱仪中的感光元件对反射光进行量化处理,量化后的光波在光谱仪上产生一个光谱波峰,光谱曲线的峰值位置与聚焦于被测物体表面的波长产生对应关系;光谱仪将波长、被测物体的位移和光谱波峰位置三者建立对应关系后进行分析,通过光谱波峰反推出被测物体的位移,实现利用光谱共焦原理测量位移的过程;因此本方案中的光谱共焦位移传感器通过光谱共焦工作原理,避免使用激光直接照射到物体表面而呈现颗粒状的散斑,克服不易确定像点的质心位置的缺陷。

光学头内部的结构不受限制,并且可以适当地设计。例如,可以使用诸如和准直透镜等的其它透镜。在本实施例中,可以通过No.1光学头和第二光学头来测量待测物体上的两个测量点的位置。换句话说,可以同时对作为No.1 光学头和第二光学头的测量对象的两个测量点和进行多点测量。当然,本发明不限于在同一待测物体0上进行多点测量的情况,并且可以同时测量两个不同的待测物体。将从No.1光学头和第二光学头射出的测量光和经由光纤和引导至控制器。射出绿色光作为测量光和。当然,本发明不限于射出同一波长光的情况,并且可以射出分别与测量点和的位置相对应的波长光。该传感器可用于微纳制造、生物医学、半导体制造等领域中的精密测量。

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Preferencyly,在本实施例中发光件设置有2个,在保证良好提示效果的前提下,采用更少的发光件以减少发热对探头的影响,发光件左右对称布置在光源耦合器中,通过卡扣和螺纹连接固定在光源耦合器中,导光光纤也设置有2个,分别通过插槽3400与发光件连接,两个导光光纤的出光端在探头壳体上呈左右对称设置,发光件发出的指示光能通过导光光纤的传导,从各个方向射出,使用者能从各个角度观察到探头工作情况。创视智能技术创视智能技术该传感器适用于光学显微镜、扫描电子显微镜等高分辨率成像系统中的位移测量。盐城原装光谱共焦位移传感器

光谱共焦位移传感器具有非接触式测量的优势,可以在微观尺度下进行精确的位移测量。无锡防水光谱共焦位移传感器

光谱共焦位移传感探头还设置有提示组件,提示组件包括有:发光件,发光件设置在光源耦合器中;导光光纤,所述导光光纤的一端连接在光源耦合器中,且另一端延伸连接在探头壳体的侧壁上,所述导光光纤用于传导发光件所发出的提示光。进一步,入射光纤,接收光纤,导光光纤外表面套设有保护套,所述保护套一端固定设置在探头壳体内。采用上述方案的有益效果是:本实用新型提出的一种光谱共焦位移传感器,通过光源耦合器产生多色光源,多色光源在入射光纤中传导到光谱共焦位移传感探头内,通过光谱共焦位移传感探头内的透镜组和光学元件使多色光发生光谱色散,不同波长的单色光聚焦到不同的轴向位置,使波长与被测物体的位移产生对应关系;无锡防水光谱共焦位移传感器

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