无锡激光位移传感器

时间:2024年07月24日 来源:

从图3所示的成像光学系统结构图可看出,在整个物面并不垂直于光轴时,经过系统成像以后得到的像面也不垂直于光轴,与光轴存在一定的夹角β,设计lastβ优化值取为60.4628°,此时像面上可得到比较理想的光斑分布。在工作范围内不同视场的散射光均能很好地成像于探测器。在图4中可看到不同视场的成像光斑形状,此点列图表明成像光斑分布均匀,但还存在一定的剩余像差,主要为球差,光斑大小可见表2,光斑直径在20μm左右。同时根据设计结果可得像距为33.092mm,经计算tanα/tanβ=0.6137,di/do=0.6145,此物镜设计基本满足于Scheimpflug理想成像条件。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。无锡激光位移传感器

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方式[0019]请参照图1所示,本实用新型激光位移传感器检验校准装置100的较佳实施例,包括一可伸缩导轨1、一微调装置2、一传感器夹持装置3、一激光位移传感器4以及一激光红外线接收挡板5;所述微调装置2和传感器夹持装置3设于所述可伸缩导轨1的上端;所述激光位移传感器4夹持在所述传感器夹持装置3上,且使所述激光位移传感器4的激光发射端朝向所述微调装置2;所述激光红外线接收挡板5与所述微调装置2固接,且使所述激光红外线接收挡板5的接收面朝向所述传感器夹持装置3。金山区激光位移传感器市场价格采用激光束对目标物体进行扫描和测量,因此可以实现非接触式的位移测量。

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根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,在进行解析时,空间频率为62.5lp/mm,如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向,则MTFT≥0.5,MTFS<0.05。4.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:反光元件,所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上,所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后,入射到所述感光元件。5.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:带通滤光片,设置于所述成像物镜的入射光路上。6.根据权利要求1所述的激光位移传感器,其特征在于,进一步包括:聚焦透镜,设置于所述激光器的出射光路上。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器,其特征在于,所述感光元件为线阵感光元件,所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列,该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。

所述可伸缩导轨1包括一电动伸缩双直线导轨11、一No.1支撑件15、一第二支撑件16、一滑动轮12、一伸缩制动开关13以及一控制面板14;所述电动伸缩双直线导轨11包括一伺服电机(未图示)、一双直线导轨111以及一丝杆(未图示),所述丝杆设于所述双直线导轨111内部,所述丝杆与所述双直线导轨111动联接,所述伺服电机设于所述双直线导轨111的末端且与所述丝杆连接,所述伺服电机通过所述丝杆联动所述双直线导轨111进行伸缩;所述No.1支撑件15安装在所述电动伸缩双直线导轨11固定端的底部,所述第二支撑件16安装在所述电动伸缩双直线导轨11可伸缩端的底部;所述滑动轮12设于所述第二支撑件16的底部,所述电动伸缩双直线导轨11可通过所述滑动轮12进行伸缩;所述伸缩制动开关13设于所述第二支撑件16的侧面,用于伸缩制动的开启与关闭;所述控制面板14与所述电动伸缩双直线导轨11电连接,所述控制面板14用于控制所述电动伸缩双直线导轨11的伸缩距离。它具有高度稳定性和可靠性。

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如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa激光位移传感器在金属行业的应用案例。深圳激光位移传感器的用途和特点

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在以激光三角法为基本原理的激光位移传感器中,相对于成像物镜,物面和像面都成倾斜状态,即物面与像面都与成像物镜光轴成一定的夹角。在传统激光位移传感器中,光学系统设计都兼顾成像物镜子午方向(T方向)和弧矢方向(S方向)两个方向的成像质量。由于需要兼顾两个方向的成像质量,所以这种需求的存在会增加激光位移传感器的成像物镜设计难度,提高制造和维护成本。不仅如此,随着激光位移传感器的使用,很可能会因为振动、机械变形等原因,使得激光器发出的光斑无法准确投射到传感器上,导致系统信噪比降低,影响测量的准确性,甚至可能出现完全无法进行测量的问题。无锡激光位移传感器

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