小型真空泵定制厂家
低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整的系列,并研究开发出各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵。真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求。小型真空泵定制厂家
对于微型真空泵抽气端阻力的大小可以用仪器测定,把它与泵的技术参数"进气口允许较大阻力"Por值比较就可以知道选型是否合适。通常根据经验采用简便的方法确定,比如下述几种情况都属于负载较大(即泵的抽气端阻力较大),只能在微型真空泵范围内选型:在泵的抽气端要接很长的管道,或管道弯曲点多、弯曲厉害甚至会阻塞封闭,或管道内孔很小(比如小于φ2毫米);在管路上有节流阀、电磁阀、气路开关、过滤器等元件;泵抽气口与密闭容器连接,或该容器虽未密闭但进气量较小;泵抽气口与吸盘连接,用于吸附物体(如集成块、精密工件等);⑤泵的抽气端与过滤容器相连,容器口放置滤网,用于加速液体过滤。化工防腐真空泵哪家好卧式真空泵的进气口在上,排气口在下。
虽然液环泵属于粗真空泵,但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%,只次于干泵,所以很多外国公司都在我国投资建厂或建立销售网络,不断扩大在我国的市场份额。由于液环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品,所以国产液环泵在价格上有竞争优势,关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。由于滑阀泵比较耐用、可靠,国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵,但是滑阀泵铸件重,加工工作量较大,所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。
罗茨真空泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。水环真空泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的。
在真空泵选型前,我们必须弄清楚几个基础概念:真空,理论上是指容积里面不含有任何的物质。(现实中是不存在真正的真空的)通常把容器内气压低于正常大气压(101325 Pa)的都称之为真空状态。真空度表示处于真空状态下的气体稀簿程度,通常用压力值来表示。实际应用中,真空度,通常有真空和相对真空两种说法。从真空表所读得的数值称真空度。真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值,从表上表示出来的数值又称为表压强,业界也称为极限相对压强,即: 真空度=大气压强-压强(大气压强一般取101325Pa,水环式真空泵极限压强3300Pa;旋片式真空泵极限压强约10Pa)。真空泵抽速的抽气量一般单位用L/S和m³/h来表示。小型真空泵定制厂家
水环真空泵串联大气喷射器可达270~670Pa。小型真空泵定制厂家
环境对真空泵的影响,主要是指被抽气体对体系的污染,在钢液处置过程中,钢液会放出很多的气体,同时也会有一部分细微的氧化粉皮等小颗粒被吸入真空泵,这些小颗粒会堆积粘附在泵体上,减小了抽气管路流导,延长了抽气时间,下降了泵的抽气功能。泵体布局的影响:关于单级真空泵,简单磨损的部位是蒸汽的喷嘴,喷嘴被磨损后,不只会影响泵的功能,还会增加体系的运转本钱。所以真空泵在使用时要非常注意周围环境和蒸汽喷嘴的影响。小型真空泵定制厂家
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